基于球柵傳感器的高精度位移測(cè)量技術(shù)研究.pdf

1、球柵位移測(cè)量技術(shù)廣泛應(yīng)用于世界各國的機(jī)械加工領(lǐng)域,用于實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中位移空間的精密測(cè)量。本課題的設(shè)計(jì)目的在于通過研究球柵傳感器的技術(shù)原理,研制基于球柵傳感器的的高精度位移測(cè)量系統(tǒng),并通過系統(tǒng)調(diào)試和對(duì)該系統(tǒng)測(cè)得的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析,驗(yàn)證本系統(tǒng)的測(cè)量精度、分辨率、位移測(cè)量穩(wěn)定性和可重復(fù)性,實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下位移的高精度測(cè)量。
　　 本文主要分為以下幾個(gè)部分進(jìn)行闡述:
　　 1.首先介紹了當(dāng)前的位移測(cè)量技術(shù),提出研究球柵位移測(cè)量技術(shù)的目

2、的和意義,并介紹了國內(nèi)外球柵位移測(cè)量技術(shù)的研究現(xiàn)狀。
　　 2.然后介紹了球柵傳感器的結(jié)構(gòu)、特點(diǎn)和應(yīng)用領(lǐng)域,通過對(duì)電磁感應(yīng)原理的分析,引導(dǎo)并深入闡述了球柵傳感器的技術(shù)原理。
　　 3.提出系統(tǒng)的總體設(shè)計(jì)框架,并介紹了系統(tǒng)各個(gè)模塊的功能和實(shí)現(xiàn)方式,然后介紹了本系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù),對(duì)其中最難最為關(guān)鍵的技術(shù)調(diào)相信號(hào)的解調(diào)技術(shù)進(jìn)行了詳細(xì)的介紹。
　　 4.根據(jù)對(duì)系統(tǒng)功能需求和球柵傳感器技術(shù)原理的分析,提出了系統(tǒng)硬件的總體設(shè)計(jì)

3、方案,、闡述了了各部分硬件電路的功能和實(shí)現(xiàn)方式,同時(shí)對(duì)選用的控制器STM32F103進(jìn)行了介紹,之后對(duì)各部分電路的設(shè)計(jì)分別進(jìn)行詳細(xì)介紹,包括該電路的功能、設(shè)計(jì)思路和電路圖等。
　　 5.介紹了系統(tǒng)軟件開發(fā)環(huán)境和STM32固件函數(shù)庫,然后提出了系統(tǒng)軟件總體設(shè)計(jì)步驟、軟件組成和設(shè)計(jì)思路,再分別介紹了各軟件模塊的功能和具體實(shí)現(xiàn)方法。
　　 6.最后對(duì)球柵位移測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)室調(diào)試,對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行了整理與詳細(xì)的分析,證實(shí)了研制