硬盤基板用微晶玻璃材料研究.pdf

1、該文主要做了以下幾方面的工作:根據(jù)硬盤基板材料的發(fā)展趨勢(shì)選擇了Li<,2>O-SiO<,2>系統(tǒng)微晶玻璃作為硬盤基板用微晶玻璃.對(duì)Li2<,O>-Al<,2>O<,3>-SiO<,2>系統(tǒng)微晶玻璃的成核劑的選用進(jìn)行了研究,確定P<,2>O<,5>作為成核劑使該系統(tǒng)微晶玻璃更適用于硬盤基板.通過對(duì)Li<,2>O-Al<,2>O<,3>-SiO<,2>-P<,2>O<,5>系統(tǒng)微晶玻璃的析晶過程的數(shù)值模擬分析和驗(yàn)證性實(shí)驗(yàn)的結(jié)果表明:Li<,

2、2>O-Al<,2>O<,3>-SiO<,2>-P<,2>O<,5>系統(tǒng)微晶玻璃的析晶過程的受控模式是通過形成高熔點(diǎn)的殘余玻璃相來控制晶粒生長過程的.并依據(jù)理論分析的受控模型獲得了小晶粒的透明微晶玻璃.討論了通過主晶相和殘余玻璃相的膨脹系數(shù)估算析晶量的方法.并通過XRD、SEM、DTA、光譜分析、力學(xué)測(cè)試等方法研究了Li<,2>O-Al<,2>O<,3>-SiO<,2>-P<,2>O<,5>系統(tǒng)微晶玻璃的彈性模量、抗彎強(qiáng)度等性能與微晶玻

3、璃組成、結(jié)構(gòu)的關(guān)系,實(shí)驗(yàn)表明:微晶玻璃的彈性模量與抗彎強(qiáng)度隨Al<,2>O<,3>含量的增加而降低的原因是Al<,2>O<,3>含量影響了微晶玻璃的析晶量.微晶玻璃晶粒尺寸越小的微晶玻璃進(jìn)行超精密加工所能達(dá)到的表面粗糙度越高.討論了Li<,2>O-Al<,2>O<,3>-SiO<,2>-P<,2>O<,5>系統(tǒng)微晶玻璃中由于主晶相與殘余玻璃相的膨脹系數(shù)差別所帶來的應(yīng)力特征及這種應(yīng)力對(duì)微晶玻璃抗彎強(qiáng)度的影響.熱處理過程中的析晶溫度和析晶時(shí)