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文檔簡介
1、針對磁盤微晶玻璃基板的表面要求,論文提出了獲取超光滑表面的系統(tǒng)的觀點,并對獲取超光滑表面的各個環(huán)節(jié)提出了解決方法.論文概述了國內(nèi)外超光滑表面加工技術(shù)的現(xiàn)狀和存在的問題,闡述了超光滑表面的加工機(jī)理.在研究各種超光滑表面加工技術(shù)的基礎(chǔ)上,提出了兩步拋光法獲得磁盤微晶玻璃基板超光滑表面的加工方法,闡述了該方法的加工原理,采用雙面加工設(shè)備,進(jìn)行了雙面拋光試驗;根據(jù)獲取超光滑表面的系統(tǒng)觀點,論文提出了超光滑表面的清洗技術(shù)和檢測方法,這些都是獲得超
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