微結(jié)構(gòu)表面的五軸聯(lián)動(dòng)超精密切削加工技術(shù)研究.pdf

1、精密及超精密加工技術(shù)是20世紀(jì)五、六十年代發(fā)來(lái)起來(lái)的一項(xiàng)新興技術(shù)，近年來(lái)，航空航天、微機(jī)電系統(tǒng)、微光學(xué)系統(tǒng)、激光等高科技領(lǐng)域的飛快發(fā)展極大的推動(dòng)了精密及超精密加工技術(shù)的前進(jìn)步伐，使其成為當(dāng)前各國(guó)家和地區(qū)的研究熱點(diǎn)。同時(shí)，超精密加工產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域，也加速了相關(guān)領(lǐng)域發(fā)展速度，也帶動(dòng)了精密加工設(shè)備——超精密數(shù)控加工機(jī)床的發(fā)展。然而，由于發(fā)達(dá)國(guó)家對(duì)我國(guó)的技術(shù)封鎖，中國(guó)的超精密機(jī)床，特別是多軸聯(lián)動(dòng)超精密機(jī)床的發(fā)展受到很大程度的制約。

2、>　　為了滿足國(guó)家對(duì)超精密零部件的巨大需求以及多軸聯(lián)動(dòng)超精密機(jī)床的基礎(chǔ)研究，本課題開(kāi)展了面向微結(jié)構(gòu)表面的五軸聯(lián)動(dòng)超精密切削加工技術(shù)的研究。旨在通過(guò)對(duì)五軸聯(lián)動(dòng)超精密機(jī)床的相關(guān)技術(shù)研究，來(lái)進(jìn)行典型零件的加工實(shí)驗(yàn)，探索多軸聯(lián)動(dòng)超精密切削加工過(guò)程中相關(guān)關(guān)鍵技術(shù)。
　　超精密機(jī)床的控制系統(tǒng)是整個(gè)機(jī)床的核心部分，所以本課題的主要任務(wù)之一就是搭建數(shù)控機(jī)床的控制系統(tǒng)，這主要包括機(jī)床電氣控制系統(tǒng)接口電路的設(shè)計(jì)，以及驅(qū)動(dòng)伺服系統(tǒng)的電氣調(diào)試，以提高各軸

3、的動(dòng)、靜態(tài)性能。
　　PAMC控制器本身的操作界面可視性效果很差，繁雜難懂，本文基于Visual Basic. Net開(kāi)發(fā)了一套操作更為簡(jiǎn)單易學(xué)、更為靈活的人機(jī)交互操作界面。同時(shí)為了進(jìn)一步提高此臺(tái)超精密機(jī)床的定位精度，對(duì)機(jī)床的定位精度進(jìn)行了誤差檢測(cè)，并在此基礎(chǔ)上進(jìn)行了誤差補(bǔ)償?shù)墓ぷ鳌?br>　　在以上工作完成的基礎(chǔ)上，進(jìn)行大量的加工實(shí)驗(yàn)研究，如加工回轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的正弦波表面、球面，非回轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的正弦網(wǎng)格表面，以及微金字塔陣列。針對(duì)不同的表