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1、光學(xué)晶體材料種類繁多,在高新技術(shù)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,常見的有單晶硅、單晶鍺和KDP等。光學(xué)晶體材料根據(jù)硬度值不同,分為硬脆性和軟脆性材料。單晶鍺屬于硬脆性光學(xué)晶體材料,這類材料具有脆性大、易解理,在常溫下對(duì)其加工時(shí),加工表面易產(chǎn)生裂紋和凹坑等缺陷,嚴(yán)重影響其表面質(zhì)量。
由于硬脆光學(xué)材料精密成形工藝性能差,導(dǎo)致其超精密加工非常困難。硬脆光學(xué)材料的傳統(tǒng)加工方法諸如研磨、拋光等工藝,生產(chǎn)效率低,加工精度不易保證。對(duì)于一些特殊結(jié)構(gòu)的光學(xué)元件
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