半自動X射線角分類機計算機測控系統(tǒng)的研制與開發(fā).pdf

1、X射線角分類機是目前晶體切割和加工設備中重要的定向專用設備.X射線角分類機是以X射線為手段,依據布拉格方程,對晶體進行分析的光機電一體化精密儀器.半自動X射線角分類機是在原有手動X射線角分類機的基礎上,采用單片微型計算機測控系統(tǒng)和步進電機驅動系統(tǒng),利用微弱信號檢測技術、計算機數據處理技術實現(xiàn)自動測量,從而消除了人為測量帶來的測量誤差,提高了晶片檢測效率.該文設計并開發(fā)了半自動X射線角分類機計算機測控系統(tǒng).首先詳細研究了半自動X射線角分類

2、機的各項設計指標,在此基礎上根據功能要求,設計了計算機測控系統(tǒng)的硬件系統(tǒng)和軟件系統(tǒng),并研究了針對復雜信號的數據采集與處理的各種算法.選定美國CYGNAL公司先進的高速混合信號片上系統(tǒng)單片機C8051F005作為測控系統(tǒng)的核心;以采樣定理為理論依據,確定了信號采集策略;采用硬件與軟件相結合的方法實現(xiàn)了模擬信號的放大、濾波、模數轉換和數字信號處理;同時,使用了一系列硬件、軟件的抗干擾方法保證測量的精度.目前,半自動X射線角分類機已經開發(fā)成功