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1、垂直腔面發(fā)射半導(dǎo)體激光器(VCSEL)與傳統(tǒng)的邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器相比,它具有發(fā)散角小、單縱模工作、非常低的閾值電流等優(yōu)點(diǎn),尤其它適于二維面陣集成和與其它光電子器件集成.在光信息處理、光互連、光計(jì)算等方面都有廣泛的應(yīng)用前景.在VCSEL器件研制方面,我們采用氧化物限制結(jié)構(gòu)來(lái)對(duì)其的電流和光場(chǎng)進(jìn)行限制.利用濕法氧化和選擇性腐蝕相結(jié)合工藝研制出室溫連續(xù)工作的VCSEL,最低閾值電流為1.8mA,輸出功率為7.96mW.在器件工藝研究方面,我們對(duì)
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