基于氧化鋯的980nm垂直腔面發(fā)射半導(dǎo)體激光器增透膜的研究.pdf

1、垂直腔面發(fā)射激光器(VerticalCavitySurfaceEmittingLasers，簡稱VCSEL)是一種發(fā)展?jié)摿艽蟮募す庠?。其?yōu)點(diǎn)在于發(fā)散角小，轉(zhuǎn)換率高，調(diào)制速度快，閾值低，噪聲小。由于VCSEL具備以上多種不可比擬的優(yōu)點(diǎn)，使它在光互連、激光打印、氣體檢測、顯示方面得以廣范的應(yīng)用，因此對(duì)VCSEL的功率要求也越來越高，而在出光窗口處制備高質(zhì)量的增透膜有很大的應(yīng)用價(jià)值。
　　本文的主要工作是設(shè)計(jì)和制備適用與980nmVC

2、SEL出光窗口處的增透膜：首先根據(jù)激光器波長和功率的特性，經(jīng)過理論計(jì)算，確定一種新的膜料氧化鋯(ZrO2)，確定新的膜料以后，用大眾中文軟件進(jìn)行設(shè)計(jì)。再根據(jù)有限元法用ANSYS軟件對(duì)ZrO2薄膜沉積在基片GaAs時(shí)的殘余應(yīng)力和溫度之間的關(guān)系進(jìn)行模擬分析，根據(jù)以往掌握的鍍制ZrO2薄膜的一些經(jīng)驗(yàn)和實(shí)驗(yàn)來確定鍍制過程中影響膜層性能的主要參數(shù)進(jìn)行確定。最后完成激光器的后續(xù)工藝，并對(duì)薄膜的透射率和鍍膜后的激光器功率以及光譜進(jìn)行測試，通過進(jìn)行受激