高功率980nm垂直腔面發(fā)射激光列陣.pdf

1、垂直腔面發(fā)射激光器(VerticalCavitySurfaceEmittingLasers,簡(jiǎn)稱VCSEL)以其優(yōu)異的性能有望成為信息時(shí)代的新光源。本論文設(shè)計(jì)和制作了980nm垂直腔面發(fā)射激光器列陣，主要內(nèi)容如下： 從多量子阱的速率方程出發(fā)得出了閾值電流的表達(dá)式；計(jì)算了注入電流與輸出功率的關(guān)系；由垂直腔底發(fā)射激光器的電流傳播模型得出了熱源分布。 分析了腔鏡反射率、量子阱數(shù)等參數(shù)對(duì)閾值電流、輸出光功率的影響，并根據(jù)理論計(jì)算

2、對(duì)器件參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)。 對(duì)垂直腔面發(fā)射激光器的濕法腐蝕技術(shù)、選擇氧化工藝、合金工藝等關(guān)鍵工藝進(jìn)行了研究，得到了最佳工藝條件。 采用氧化物限制方法制作的垂直腔底發(fā)射激光器，有源區(qū)直徑為500μm、600μm的單管在室溫下均獲得了最高連續(xù)光輸出功率1.95W，是目前國(guó)際上所實(shí)現(xiàn)的單管室溫連續(xù)輸出最高功率值。 研究了熱阻、發(fā)射波長(zhǎng)、光譜半高寬、光輸出功率隨有源區(qū)直徑和注入電流的關(guān)系。 研究了直徑200μm的