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文檔簡介
1、垂直腔面發(fā)射半導(dǎo)體激光器憑借其良好的光束質(zhì)量、較高的光電轉(zhuǎn)換效率和易于陣列集成等優(yōu)點，得到了廣泛研究者的青睞，并且已經(jīng)廣泛應(yīng)用于光通信、光顯示、光儲存、激光打印等領(lǐng)域。
本文從改善器件注入電流不均勻、減少器件等效熱阻、簡化制作工藝、提高器件輸出功率出發(fā)，設(shè)計的一種以ITO薄膜作透明導(dǎo)電窗口的面發(fā)射半導(dǎo)體激光器。通過對垂直腔面發(fā)射激光器透明導(dǎo)電窗的結(jié)構(gòu)進行設(shè)計分析，采用電子束鍍膜機制備用作于激光器件導(dǎo)電窗口的ITO薄膜，測試分析
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