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文檔簡介
1、本文簡單介紹激光的基本原理，著重說明了激光器光學(xué)諧振腔上的高反射膜的作用。詳細(xì)研究了該腔面膜的優(yōu)化和工藝制備過程。 由激光器自身解理面形成的諧振腔面，反射率僅有32﹪。為了獲得高的增益和激光的收集利用使得閾值電流降低，提高量子效率和激光的輸出功率，在諧振腔的腔面上鍍制光學(xué)薄膜。前端面鍍增透膜增加了光的透過能力，后端面鍍制高反膜。采用Al2O3和SiO2-Si組合作為多層介質(zhì)高反膜堆，其具備吸收小，散射少等優(yōu)點(diǎn)，使得反射率從32﹪
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