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文檔簡介
1、本文在分析磁控濺射工藝背景的基礎(chǔ)之上根據(jù)靶極電源的要求，確定倍流整流方式ZVS PWM直流變換器做為其靶極電源的主電路，進(jìn)行參數(shù)設(shè)計并進(jìn)行仿真，取得良好效果。還引入了倍流整流方式ZVS PWM 三電平直流變換器(半橋)。根據(jù)靶極電源的頻率與功率要求，本文選擇功率MOSFET作為磁控濺射靶極電源主功率開關(guān)器件，介紹了功率MOSFET的驅(qū)動特點及驅(qū)動參數(shù)計算，根據(jù)實際情況設(shè)計了MOSFET驅(qū)動電路。針對MOSFET并聯(lián)擴(kuò)容，從理論上分析了影
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