主動減振器的設計與力學分析.pdf

1、在超精密加工制造領域,外部環(huán)境的振動不可避免地會影響加工設備的工作性能,傳統(tǒng)的被動隔振系統(tǒng)無法滿足加工設備不斷提高的精度要求。超精密隔振系統(tǒng)通過采用主動隔振與被動隔振相結合的方式能更好地滿足超精密設備對低頻和中高頻隔振的需求。本文從主動減振的原理出發(fā),設計了一種采用被動隔振與主動隔振相結合的主動減振器,并通過采用有限元計算和試驗的方法對核心元件做了進一步的研究分析。
　　對主動減振器的設計分為被動隔振和主動隔振兩個部分。被動隔振部

2、分,通過對氣浮剛度的理論推導,設計的非線性單腔室空氣彈簧能夠實現垂直方向的隔振,正剛度擺機構實現了水平方向的隔振。主動隔振部分,基于實際需求推算出面向精密主動減振的音圈電機的推力常數、電感和電阻等參數,設計了一套音圈電機,引入天棚阻尼技術,對速度傳感器等各類傳感器進行了配置和選型。
　　以主動減振器的部分核心元件為研究對象,利用ANSYS自帶的實體建模功能創(chuàng)建了實體幾何模型并對其進行靜力分析。通過靜力分析求解得到各種工況時的應力應