基于NiFeCo-Cu多層膜巨磁電阻(GMR)的磁微球檢測.pdf

1、結(jié)合磁微球標記法，巨磁電阻（GMR）傳感器可以用于生物檢測技術(shù)中。針對生物檢測技術(shù)中以檢測磁微球濃度或面密度為手段，應用于疾病診斷等領(lǐng)域的需求，本論文選擇NiFeCo/Cu多層膜作為研究對象。首先對巨磁電阻（GMR）效應進行了論述，其中包括GMR效應的定義、理論解釋和模型、以及各種GMR結(jié)構(gòu)等重要內(nèi)容。其次，采用磁控濺射法制備了NiFeCo/Cu多層膜，研究了緩沖層厚度、非磁層厚度、鐵磁層厚度等結(jié)構(gòu)參數(shù)對NiFeCo/Cu多層膜GMR效

2、應的影響。通過優(yōu)化各結(jié)構(gòu)參數(shù)，得到了飽和場低、磁滯小的NiFeCo/Cu多層膜樣品。對應用于生物檢測技術(shù)的GMR器件的工作原理作了詳細分析，并計算了單個磁微球的偶極場及其產(chǎn)生的器件信號表達式?；趦?yōu)化參數(shù)的NiFeCo/Cu多層膜，采用微細加工技術(shù)制備了GMR傳感器件。對所制備的NiFeCo/Cu多層膜GMR器件，進行了實際的測試。得出了實驗制備的NiFeCo/Cu 多層膜適用于生物檢測技術(shù)，且基于此多層膜制備的GMR器件可以檢測出磁微