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1、通過(guò)分析等離子體滲氮工藝過(guò)程,得到滲氮工藝的控制量為氣壓和溫度,調(diào)節(jié)量為氣體流量、電源電壓占空比:通過(guò)調(diào)節(jié)質(zhì)量流量計(jì)來(lái)控制氣壓,調(diào)節(jié)電壓占空比控制溫度。在此基礎(chǔ)上討論了影響爐體溫度和氣壓的各個(gè)因素,用實(shí)驗(yàn)方法確定了離子滲氮?dú)鈮骸囟鹊囊浑A慣性加滯后模型??刂葡到y(tǒng)以AT89C52為核心,包含多路高精度A/D、PWM輸出、兩個(gè)異步通訊口和操作面板。采用數(shù)字PID控制、模糊控制、Fuzzy-PID控制為控制算法,使用了多種軟硬件抗干擾措施。
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