基于PC-PLC的復合離子注入機監(jiān)控系統(tǒng)的改進和升級.pdf

1、在實驗室原復合離子注入機監(jiān)控系統(tǒng)基礎上，配合當前實驗和生產(chǎn)的需要，并針對原系統(tǒng)設計和運行中出現(xiàn)的問題，對原監(jiān)控系統(tǒng)進行了改進和升級。 論文首先對原監(jiān)控系統(tǒng)進行了分析和介紹，給出了復合離子注入機的控制系統(tǒng)構架 ，然后著重介紹了在硬件上對系統(tǒng)進行的改進和升級。主要包括重新設計磁控濺射靶，增加可加熱靶臺，改進熱電偶溫度傳感器設計，改進靶自轉設計等。 為配合系統(tǒng)在硬件系統(tǒng)方面所做的改進和升級，對PLC控制部分也做了相應的修改和完

2、善。論文首先介紹了由于新增和改進功能而對PLC模塊進行的升級和輸入輸出點的重新分配。然后論文介紹了針對新增和改進功能對PLC控制程序所進行的修改和完善。 由于原上位機畫面監(jiān)控系統(tǒng)的不開放性，不能對其進行二次開發(fā)。為滿足系統(tǒng)所進行的升級和改造需求，運用工控組態(tài)軟件——組態(tài)王設計了全新的上位機畫面監(jiān)控系統(tǒng)。在實現(xiàn)原上位機畫面監(jiān)控功能的基礎上，還增加了和改進了部分監(jiān)控功能，并使監(jiān)控系統(tǒng)更加易于管理和實現(xiàn)。 為在以后使用過程中更