大型超精密機(jī)床液壓軸系幅板結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì).pdf

1、大型非球曲面零件在國(guó)防科技工業(yè)、民用光機(jī)電產(chǎn)品等領(lǐng)域都有著十分重要的應(yīng)用,大型超精密機(jī)床是加工該類零件的關(guān)鍵裝備,為了保證該類零件的加工精度,目前國(guó)內(nèi)外的大型超精密機(jī)床多采用液體靜壓主軸系統(tǒng),以保證主軸軸系具有較高的回轉(zhuǎn)精度和承載能力。液體靜壓主軸系統(tǒng)的上幅板是組成液體靜壓軸系的重要部件,由于液體靜壓軸系中油腔靜壓油壓力的作用,上幅板在油腔壓力作用方向會(huì)產(chǎn)生微米級(jí)的相對(duì)位移,引起軸系承載油膜厚度變化,影響超精密機(jī)床軸系的回轉(zhuǎn)精度和剛度等

2、關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)。本論文通過(guò)對(duì)大型超精密機(jī)床液體靜壓軸系上幅板變形的理論分析,建立了其有限元數(shù)值計(jì)算模型,并通過(guò)具體的實(shí)驗(yàn)研究工作對(duì)模型加以修正。在油腔壓力分別為1.0、1.5、1.8MPa三種情況下,用電感測(cè)微儀測(cè)試了幅板在油腔壓力作用方向上的最大相對(duì)位移。當(dāng)油腔壓力為1.5MPa時(shí),最大相對(duì)位移量為18.0μm,這些實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)和有限元計(jì)算結(jié)果符合的較好。在以上分析的基礎(chǔ)上,應(yīng)用參數(shù)化有限元計(jì)算方法研究了幅板結(jié)構(gòu)的4個(gè)重要參數(shù)——油腔壓力中