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1、超精密切削加工技術(shù)由于其生產(chǎn)效率高、加工精度高和重復(fù)性好的加工特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于航空航天、精密儀器、軍事工業(yè)、光學(xué)與電通訊、核聚變等領(lǐng)域的元件加工。為實(shí)現(xiàn)大口徑高精度光學(xué)晶體平面元件的加工,超精密飛刀切削加工方法被提出并廣泛應(yīng)用。當(dāng)前,如何保證超精密加工過(guò)程的精度穩(wěn)定性和工件表面質(zhì)量是十分重要的研究?jī)?nèi)容。
基于超精密飛切加工的特點(diǎn)及其對(duì)光學(xué)元件的加工表面結(jié)果,本文對(duì)國(guó)產(chǎn)超精密飛切機(jī)床的動(dòng)態(tài)特性進(jìn)行了分析和優(yōu)化。首先,提出了基于小
2、波分解的飛切工件表面特征提取模型,以提取工件表面的主要面形特征,包括工件面形各高低頻組成成分的形貌以及幅頻信息,并進(jìn)行了相應(yīng)的軟件開(kāi)發(fā);其次,基于工件表面特征,對(duì)超精密飛切機(jī)床的動(dòng)態(tài)特性進(jìn)行測(cè)試,包括環(huán)境振動(dòng)對(duì)機(jī)床的影響、機(jī)床自身的振動(dòng)情況和機(jī)床切削力測(cè)試等,通過(guò)與工件表面特征的對(duì)比分析,明確機(jī)床主軸系統(tǒng)對(duì)加工結(jié)果存在影響,同時(shí)切削力的測(cè)試結(jié)果也表明加工過(guò)程中刀具與工件存在明顯的沖擊現(xiàn)象;再次,對(duì)確認(rèn)的機(jī)床主軸部件和工作臺(tái)進(jìn)行動(dòng)力學(xué)有限
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