z軸硅微陀螺儀殘余應力分析及結構優(yōu)化研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、東南大學碩士學位論文z軸硅微陀螺儀殘余應力分析及結構優(yōu)化研究姓名：謝明媚申請學位級別：碩士專業(yè)：精密儀器及機械指導教師：王壽榮20040301哆■東南大學碩士學位論文———————————————————————————————————————————————————————————一一ABSTRACTSilliconmicromachinedVibratoryg”oscopeisanewkindofgyroscopesdevelope

2、dinthe1asttenyears，whichisanimporrtantresearchbranchofMEMS(MicroelectromechanicalSystem)ARermorethantenyears’hardwork，wehaVehadthecapabilityofresearcllinganddeVelopingtheMEMSinertiainstmmentsHoweVer，thereisawidedisp撕tyon

3、industrializationofsilliconmicromachinedgyroscopesbe觚eenourcount巧a11dotheradvallcedforeigllcountryAnimportalltcausationisthepoorperfonnanceofgyroscopecausedbyresiduestress，whichisresult仔omtheunadVancedtecluliquesandthe1a

4、ckofdesigllexperienceFirstofall，basedontheprinciplesofgyroscopedynamicsandmaterialmechanicsthisthesisdoseageneralresearchontheoperationschemeandstructuraldesigllofmicromachinedVibratorygyroscopeSecond，thethesisdeducesthe

5、causeanddistnbutingoftheresiduestress，throughtheanalyZingoftheprocessofsiliconmicromachinedgyroscopesandmal(ingtheuseofANSYSFEAmodelAndafo脅ulaofresiduestressand仔equencyalsohasbeendeducedThird，seVeralstmcturesofbeamshasbe

6、ensuggested，OnthebaSisaboVeAndchoosethefoldedbeamteplacethe8t。aightbeam，aRersimulatebyANSYsFinally，withreferencetothetestresultsofthe觚ogyroscopesamples，meconclusionthatfoldbe鋤isbetterthanthestrai曲tbe鋤onstressreleaseis缸he

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