靜電感應(yīng)器件的研制.pdf

1、靜電感應(yīng)器件(Static Induction Device-SID)是一類新型的電力電子器件，主要包括雙極型靜電感應(yīng)晶體管(BSlT)、靜電感應(yīng)晶體管(SIT)和靜電感應(yīng)晶閘管(SITH)三類器件，具有其它半導(dǎo)體器件無法比擬的一系列優(yōu)點(diǎn)，如控制功率大、工作頻率高、電流容量大、耐高壓、功耗小、噪聲低、抗輻射能力強(qiáng)、開通關(guān)斷全可控等，在很多領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。本論文的研究工作是結(jié)合蘭州市科技攻關(guān)項(xiàng)目“電力靜電感應(yīng)器件的研制”而展開的。

2、 系統(tǒng)地闡述了SIT、SITH的作用理論、結(jié)構(gòu)、I-V特性、電流傳輸機(jī)制及溝道勢壘的形成及關(guān)鍵制造工藝。在此基礎(chǔ)上，結(jié)合器件制造的特點(diǎn)，對器件的相關(guān)制造參數(shù)進(jìn)行了討論分析，根據(jù)以前的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和經(jīng)驗(yàn)，設(shè)計(jì)了新的版圖。 實(shí)驗(yàn)以制備電性能優(yōu)良的SID為出發(fā)點(diǎn)，結(jié)合SITH制作的經(jīng)驗(yàn)和存在的問題，通過大量的實(shí)驗(yàn)，對部分工藝條件進(jìn)行了調(diào)整。 為了獲得具有高的Vgs/Vgk和良好的I-V特性的器件，我們做了大量的實(shí)驗(yàn)。通過對試