非線性光干涉測量微小振動方法的研究.pdf

1、振動測量在生產(chǎn)和科學(xué)研究中有著重要的作用。近年來，隨著微機械技術(shù)和精細(xì)加工工藝的飛速發(fā)展及大量應(yīng)用，有關(guān)物體的微小位移與微小振動精確測量的研究工作引起人們的廣泛重視。光學(xué)檢測法作為一種重要的非接觸式無損測量技術(shù)，具有結(jié)構(gòu)簡單、精度高、穩(wěn)定好等優(yōu)點，在計量測試技術(shù)領(lǐng)域中一直占據(jù)主導(dǎo)地位。光學(xué)測量方法中，以干涉法最為常見和廣泛，而利用光折變晶體干涉測量是近年來發(fā)展起來的一種新技術(shù)。 本文詳細(xì)介紹了微小振動的各種測量方法，分析了光折變

2、晶體特性，如光折變效應(yīng)，二波耦合及能量放大，四波耦合及相位共扼原理。晶體光折變效應(yīng)是產(chǎn)生二波耦合作用的基礎(chǔ)，這一部分的研究為探索利用光折變晶體二波耦合進行微振動探測提供了充實的理論基礎(chǔ)。 本文重點提出了利用BSO晶體二波耦合原理測量微小振動的新方法。設(shè)計了實驗光路圖，成功搭建起實驗系統(tǒng)，并對BSO晶體衍射效率和響應(yīng)時間進行了實驗研究，重點對兩入射光波的夾角、光強比、偏振態(tài)、總?cè)肷涔鈴娂巴饧与妶鰧Χ詈蠌姸鹊挠绊戇M行了實驗研究，