基于準(zhǔn)LIGA技術(shù)的微型齒輪型腔成形工藝研究及模具設(shè)計.pdf

1、大連理工大學(xué)碩士學(xué)位論文摘要隨著微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的發(fā)展對微型制件需求的不斷增長，以傳統(tǒng)的微細(xì)加工方法成形微小制件難以滿足微系統(tǒng)的應(yīng)用要求，而用微型模具成形微小制件，具有生產(chǎn)效率高，制件質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點，成為微成形加工領(lǐng)域的重要工藝發(fā)展方向。本課題在介紹微型制件及微型模具成形特點的基礎(chǔ)上，全面分析了各種微細(xì)加工方法的技術(shù)特點及其在微型模具制造中的應(yīng)用狀況，重點闡述了以LIGA和準(zhǔn)LIGA技術(shù)為代表的光加工技術(shù)的原理及應(yīng)用，并以此作為本課題試驗

2、部分的理論依據(jù)。在試驗中，通過UVLIGA技術(shù)中的SU8膠光刻和鎳的微電鑄工藝過程制作出了微型齒輪型腔鑲塊，鑲塊采用45##鋼為基底，與電鑄生長其上的鎳層共同構(gòu)成微型齒輪型腔。同時分析總結(jié)了試驗過程中的各個工藝參數(shù)對試驗結(jié)果造成的影響以及改進(jìn)方案。最后對本試驗所用微型注塑模具進(jìn)行了總體結(jié)構(gòu)設(shè)計，清楚的分析了模具設(shè)計的整個過程以及與普通模具設(shè)計的不同之處，得到了模具的裝配圖和零件圖。同時為了更好的進(jìn)行微型注塑試驗，采用Moldflow軟件

3、對PP材料的注塑填充過程進(jìn)行了模擬，分析了注射壓力，料溫和模溫等工藝參數(shù)在微型注塑填充過程中可能起到的影響作用。關(guān)鍵詞:微型模具UVLIGA微電鑄模具設(shè)計填充模擬獨創(chuàng)性說明作者鄭重聲明:本碩士學(xué)位論文是我個人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作及取得研究成果。盡我所知，除了文中特別加以標(biāo)注和致謝的地方外，論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫的研究成果，也不包含為獲得大連理工大學(xué)或其他單位的學(xué)位或證書所使用過的材料。與我一同工作的同志對本研究所做的貢獻(xiàn)