基于UV-LIGA制作細胞培養(yǎng)器微注塑模具型腔的工藝研究.pdf

1、在MEMS研究領域中，微注塑成型加工技術越來越受到人們的關注，其具有成型塑件效率高、尺寸與質(zhì)量一致性好等特點，且可以滿足各類微小裝置或器件對復雜塑件的需求，而微注塑模腔的加工精度與質(zhì)量又直接影響微小塑件的成型質(zhì)量?；赟U-8膠的UV-LIGA技術具有微小復雜結構成型、高深寬比和側壁近乎垂直等突出優(yōu)點，利用犧牲層UV-LIGA或套刻等工藝能制作臺階結構。因此研究UV-LIGA技術制作微注塑模具可以滿足其尺寸及精度的要求，具有重要意義。<

2、br>　　 本文研究細胞培養(yǎng)器微注塑模具型腔的制作方法。針對微注塑模具型腔的結構特點，以合金鋼為基底，采用UV-LIGA套刻技術，分別進行兩次SU-8膠光刻和Ni的微細電鑄制作出微結構，再利用掩膜腐蝕的方法在鑄層上腐蝕出微排氣通道。利用這種工藝，直接在金屬基底上制作了具有微陣列結構、微注塑澆口、微排氣通道等結構的細胞培養(yǎng)器微注塑模具型腔。
　　 在微型腔制作過程中進行了UV-LIGA技術的研究。實驗中結合理論分析，對金屬基底的

3、SU-8膠模的制作和微電鑄工藝中遇到的問題進行討論，采取相應有效的改善措施。此研究獲得了鑄層質(zhì)量好與基底結合強度高的微注塑模具型腔。
　　 本文重點對SU-8厚膠的溶脹機理進行分析，針對SU-8厚膠工藝過程中的溶脹現(xiàn)象提出了在掩膜版圖形四周增設封閉的寬度為201μm和30μa的隔離帶來減少圖形四周SU-8厚膠體積，改善了該處膠模的熱溶脹變形，使鑄層的尺寸誤差由原來的35μm降低到10vμm，300μm高的微柱體側壁陡直。隔離帶的