基于準LIGA技術(shù)的微型齒輪型腔成形工藝研究及模具設計.pdf

1、大連理工大學碩士學位論文摘要隨著微機電系統(tǒng)技術(shù)的發(fā)展對微型制件需求的不斷增長，以傳統(tǒng)的微細加工方法成形微小制件難以滿足微系統(tǒng)的應用要求，而用微型模具成形微小制件，具有生產(chǎn)效率高，制件質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點，成為微成形加工領(lǐng)域的重要工藝發(fā)展方向。本課題在介紹微型制件及微型模具成形特點的基礎(chǔ)上，全面分析了各種微細加工方法的技術(shù)特點及其在微型模具制造中的應用狀況，重點闡述了以LIGA和準LIGA技術(shù)為代表的光加工技術(shù)的原理及應用，并以此作為本課題試驗

2、部分的理論依據(jù)。在試驗中，通過UVLIGA技術(shù)中的SU8膠光刻和鎳的微電鑄工藝過程制作出了微型齒輪型腔鑲塊，鑲塊采用45##鋼為基底，與電鑄生長其上的鎳層共同構(gòu)成微型齒輪型腔。同時分析總結(jié)了試驗過程中的各個工藝參數(shù)對試驗結(jié)果造成的影響以及改進方案。最后對本試驗所用微型注塑模具進行了總體結(jié)構(gòu)設計，清楚的分析了模具設計的整個過程以及與普通模具設計的不同之處，得到了模具的裝配圖和零件圖。同時為了更好的進行微型注塑試驗，采用Moldflow軟件

3、對PP材料的注塑填充過程進行了模擬，分析了注射壓力，料溫和模溫等工藝參數(shù)在微型注塑填充過程中可能起到的影響作用。關(guān)鍵詞:微型模具UVLIGA微電鑄模具設計填充模擬獨創(chuàng)性說明作者鄭重聲明:本碩士學位論文是我個人在導師指導下進行的研究工作及取得研究成果。盡我所知，除了文中特別加以標注和致謝的地方外，論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫的研究成果，也不包含為獲得大連理工大學或其他單位的學位或證書所使用過的材料。與我一同工作的同志對本研究所做的貢獻