新型激光掃描共焦測頭的設計和研究.pdf

1、近年來，非接觸測頭的發(fā)展十分迅速，成為探測技術的一個重要的發(fā)展方向。 新型激光掃描共焦測頭的設計和研究基于激光掃描共焦顯微檢測法原理，運用了動態(tài)主動調焦的方法，能夠滿足非接觸測量的要求。只要被測物位于測量光軸上，且在聚光點振動范圍內，那么在振動的一個周期內總會有兩次光點聚焦于被測靶球表面上。此時光電探測器接收到的光強最大，輸出的電信號也最強。機械和光路結構的改進設計和研究是論文介紹的重點。把位移量測量轉化成對時間差的測量方案是研

2、究的特色。最后，提出了一種新的信號處理方法，得出了實驗結果。 關于激光掃描共焦測頭的一切工作都是為了提高其測量性能，主要的工作內容如下： 1.簡要介紹了動態(tài)主動調焦檢測法原理； 2.為了改善光電輸出信號，建立了共焦測頭的數(shù)學模型；對模型函數(shù)進行擬合后，得出了光電信號的仿真曲線。提出了改善輸出信號的有效方法； 3.詳細介紹了共焦測頭的機械和光路結構，簡化了光路設計。闡述了音叉雙透鏡振動機構是測頭的機械和光學