全自動劃片機控制軟件的研究與開發(fā).pdf

1、隨著半導(dǎo)體工業(yè)的飛速發(fā)展，集成電路芯片種類越來越多，精度要求越來越高，晶圓尺寸也越來越大，對劃片機控制軟件要求也越來越高，需要控制軟件做到界面友好，操作簡單，靈活性強，兼容性高，同時還需要具備自動識別對準功能。 本文以全自動劃片機的控制軟件的設(shè)計為目標，文中確定了控制軟件的整體設(shè)計方案以及模塊化的設(shè)計思想，并采用面向?qū)ο蟮木幊碳夹g(shù)完成控制軟件的設(shè)計。主要包括以下幾個內(nèi)容的研究： 分析劃片機控制軟件的實際需求，確定整體軟件

2、設(shè)計基于WIN2000操作系統(tǒng)，并采用模塊化的設(shè)計思想，分布式的控制理念，提高控制軟件的硬件無關(guān)性。 基于面向?qū)ο蟮臄?shù)據(jù)結(jié)構(gòu)化設(shè)計以及采用類模板編程方法實現(xiàn)切割數(shù)據(jù)靈活的工藝適應(yīng)能力，能夠滿足目前幾乎所有復(fù)雜加工工藝的需求。 采用分布式控制方法提高運動控制效率，采用光柵尺閉環(huán)控制的方法提高運動軸定位精度，采用比例+前饋增益的方法消除了機械系統(tǒng)的位置響應(yīng)滯后的問題，提高了系統(tǒng)運動的響應(yīng)速度及定位精度。 通過對劃片機