自動砂輪劃片機系統(tǒng)研究與設計.pdf

1、劃片機是IC生產(chǎn)在線的關鍵設備之一，是一種精密切割專用設備，主要用于將半導體集成電路硅片、砷化鎵、磷化鎵等芯片切割成單個集成電路或管芯的專用精密切割設備。目前國內(nèi)IC生產(chǎn)在線使用的劃片機基本上是全部依賴于進口，其價格昂貴、維修不方便、配件價格高、供貨時間長，制約了我國微電子行業(yè)的發(fā)展。為了我國微電子行業(yè)的發(fā)展，也為了滿足國內(nèi)半導體廠家對該設備的需求，我們瞄準國際先進技術，自主設計開發(fā)自動劃片機。本文的主要內(nèi)容有:
　　首先，介紹了

2、自動砂輪劃片機的工作原理和結構組成，通過整機各關鍵部件多個方案的對比，綜合考慮先進性、經(jīng)濟性、可實現(xiàn)性、周期性等因素，確認了最終的整機設計方案。同時，對主機各軸向關鍵件的設計和選取原則進行了介紹。
　　其次，根據(jù)對整個系統(tǒng)允許的總誤差以及已定誤差、隨機誤差、系統(tǒng)誤差的分析和理論計算，逐一算出各個軸向的精度設計要求，并據(jù)此完成了對整機各部件精度的確認。隨后，詳細介紹了各個軸向和關鍵零部件的設計方法和過程。
　　本文還介紹了圖像

3、對準系統(tǒng)、液路系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)等輔助裝置的原理和設計，該部分輔助裝置從根本上確保了整機的可靠運行，是整機技術指標實現(xiàn)的有力保證。此外，還簡要介紹了整機的電氣設計。
　　最后，整機技術指標的測試結果和實際使用效果表明，該設備的性能達到了預期設計要求。通過該設備切割的芯片，尺寸符合生產(chǎn)要求、外形規(guī)整、一致性好，整機性能處于國內(nèi)同類產(chǎn)品的領先水平，有力的確保了國內(nèi)半導體生產(chǎn)商的需求。同時，也對自動砂輪劃片機的后續(xù)發(fā)展進行了展望和建議。