微細(xì)電火花線切割加工工藝規(guī)律研究.pdf

1、隨著微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的飛速發(fā)展，超精、微細(xì)加工技術(shù)成為目前迅速發(fā)展、最富活力的加工技術(shù)，并且是現(xiàn)代制造技術(shù)的一個重要發(fā)展方向，而微細(xì)電火花線切割加工技術(shù)是實現(xiàn)超精、微細(xì)加工行之有效的方法之一，以其獨(dú)特的加工方法以及較高的性價比得到了迅速的發(fā)展，并在許多微型機(jī)械生產(chǎn)領(lǐng)域發(fā)揮了重要的作用。
　　本文首先介紹了電火花線切割加工技術(shù)的發(fā)展及微細(xì)電火花線切割加工的關(guān)鍵技術(shù)。隨后對自主研發(fā)的微細(xì)電火花線切割加工裝置進(jìn)行簡要說明，并分析了

2、重錘平衡式恒張力走絲系統(tǒng)。在了解實現(xiàn)微細(xì)電火花線切割技術(shù)硬件條件的基礎(chǔ)上，從工藝條件方面研究了實現(xiàn)微細(xì)電火花線切割的關(guān)鍵技術(shù)。
　　分析研究了電火花線切割加工機(jī)理及微細(xì)電火花線切割放電過程。通過大量單因素試驗，研究電參數(shù)和非電參數(shù)對表面粗糙度及加工效率的影響規(guī)律，其中電參數(shù)包括：脈沖寬度、脈沖間隔、峰值電流、伺服參考電壓、開路電壓，非電參數(shù)包括：電極絲、工件厚度及材料、預(yù)置進(jìn)給速度。在此基礎(chǔ)上，本文通過正交試驗設(shè)計，利用灰色相關(guān)性

3、理論解決了微細(xì)電火花線切割加工多項工藝指標(biāo)下的加工參數(shù)優(yōu)化問題，即在加工效率和表面粗糙度的多項工藝指標(biāo)下對脈沖寬度、脈沖間隙、峰值電流和開路電壓加工參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化，從灰關(guān)聯(lián)度中獲得最佳加工參數(shù)。
　　最后進(jìn)行了微小復(fù)雜零件的切割實驗，利用直徑為30μm的電極絲,加工出最小寬度為36μm的微小槽，并在厚度為4mm的不銹鋼上切割出齒數(shù)7，模數(shù)50μm，長度4mm及齒數(shù)7，模數(shù)35μm，長度4mm的微小齒輪及長寬為1mm×0.03mm的高