兩軸超聲電機定位平臺的設(shè)計與實現(xiàn).pdf

1、本研究論文基于超聲電機為驅(qū)動器，設(shè)計實現(xiàn)了兩軸定位平臺系統(tǒng)。鑒于現(xiàn)今傳動系統(tǒng)大部分采用伺服機構(gòu)搭配滾珠絲杠做為定位機制，而此種定位機制存在著空程差的問題，同時制作精度的要求使價格居高不下；為了使避免電磁干擾、提高定位精度、機構(gòu)易于薄型化設(shè)計以及降低制作成本，本論文使用了薄片型超聲電機來直接驅(qū)動平臺，配和控制器的設(shè)計，使其具有長行程直線位移功能而且定位精度可達到微米級。
　　研究流程首先設(shè)計超聲電機與兩軸平臺的機械結(jié)構(gòu)，對超聲電機的

2、性能進行檢測并設(shè)定驅(qū)動參數(shù)。然后實際測試超聲電機驅(qū)動平臺的各種動態(tài)特性，并設(shè)計單輸入模糊控制器作為定位控制。最后整合至兩軸定位平臺機電系統(tǒng)中，測試整體機構(gòu)及定位的性能，如定位精確度的測試、平臺速度、步進位移量，調(diào)整系統(tǒng)參數(shù)使其具有抗噪聲干擾能力，以達到精密、穩(wěn)定、快速的定位目的。由本實驗結(jié)果得知，本文所使用的兩軸定位平臺和單輸入模糊控制器的設(shè)計，能使平臺定位精度達0.5μm，而且本論文所設(shè)計的超聲電機還具有步進電機的功能，最小的步進位移