二次配工程規(guī)范

1、中緯積體電路(寧波)有限公司NingboSINOMOSSemiconductInc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規(guī)範頁數PAGE:1OF32資料號碼SPECNONSSP006版本REV.0本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產非由書面許可不準透露或使用本文件亦不準複製或轉變成任何其他形式使用THEINFMATIONCONTAINEDHEREINISTHEEXCLUSIVEPROPERTYOFNingboSINOMOSS

2、emiconductInc.SHALLNOTBEDISTRIBUTEDTHEREPRODUCEDDISCLOSEDINWHOLEINPARTWITHOUTPRIPERMISSIONOFNingboSINOMOSSemiconductInc.May222003filename：二次配工程規(guī)范.pdf中緯積體電路中緯積體電路(寧波寧波)新建工程新建工程氣體管線二次配工程規(guī)範中緯積體電路(寧波)有限公司NingboSINOMOSSemicon

3、ductInc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規(guī)範頁數PAGE:3OF32資料號碼SPECNONSSP006版本REV.0本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產非由書面許可不準透露或使用本文件亦不準複製或轉變成任何其他形式使用THEINFMATIONCONTAINEDHEREINISTHEEXCLUSIVEPROPERTYOFNingboSINOMOSSemiconductInc.SHALLNOTBEDISTRIBUTE

4、DTHEREPRODUCEDDISCLOSEDINWHOLEINPARTWITHOUTPRIPERMISSIONOFNingboSINOMOSSemiconductInc.May222003filename：二次配工程規(guī)范.pdf1.目的目的為使設備機臺按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護HookUp二次配管施工之品質及作業(yè)安全。本規(guī)範如有任何疑慮依業(yè)主及總顧問公司解釋為準。2.範圍範圍2.1.製程設備氣體管線Hookup工程材料採購及管

5、路安裝；Hookup範圍，GN2、PN2、PO2、CDA自主管預留閥至機臺內部接點(含支管)，PH2、SiH4、SiH4N2由氣體站氫氣純化器出口及SiH4、SiH4N2氣瓶櫃出口接至機臺(含VMB)，其他特殊氣體自位於氣體房或Subfab之氣瓶櫃架至機臺內部接點(含VMBVMP)，其中必要的管線、管件及焊接所需氣體，均由承包商負責提供。GN2、PN2、PO2各支管位置及預留takeoff閥尺寸及數量，請參照”FAB棟一層大宗氣體二次配

6、平面圖”(圖號SP211)；各VMBVMP位置，請參照”FAB棟一層特殊氣體二次配平面圖”(圖號SP212)；氣體站至FAB間氣體管線，請參照”氣體站至FAB棟氣體二次配管線平面圖”(圖號SP234)；GN2、PN2、PO2、CDA自takeoff閥至機臺間所需裝設之閥件，請參照”SP2二次配管詳圖”(圖號SP231)；而takeoff閥及VMBVMP與機臺銜接點等相關資料，請參照附件一”Bulkgastakeofflist”、附件二”

7、SpecialtygasVMBVMPlist”及附件三”CDAtakeofflist”。承包商需根據該表資料，設計至機臺管線之路徑。2.2.前項氣體管線Hookup工程之管路細部設計、施工圖繪製、ISO圖繪製(Auto2000或以上版本圖檔予顧問及業(yè)主)、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。其中施工圖及ISO圖面，需依照機臺用量流程圖(P&ID)及機臺設備外觀圖繪製，並配合材料明細表供業(yè)主確認。2.3