06_硅片表面檢驗(yàn)分析

1、硅片表面檢驗(yàn)分析硅片表面檢驗(yàn)分析硅片在聚光燈下目檢，要求圓片表面無(wú)明顯色差、花紋、霧狀斑塊或色斑；圓片無(wú)裂紋，邊緣缺損、無(wú)沾污；圓片表面無(wú)劃痕。1.無(wú)明顯色差氧化層變化容易產(chǎn)生色差，如圖示。氧化層100A的厚度變化就會(huì)在目檢時(shí)看到顏色的變化，大約厚度變化2000A，顏色就會(huì)呈現(xiàn)一個(gè)周期性的變化。氧化層幾十A的厚度變化就會(huì)使表面產(chǎn)生一點(diǎn)顏色變化，顏色變化嚴(yán)重時(shí)，硅片表面會(huì)有明顯的花紋。一般來(lái)說(shuō)，隨著氧化層厚度的增加，顏色變化的明顯性會(huì)下降

2、，幾萬(wàn)A后顏色隨厚度的變化就不再明顯?？偤穸葹橐蝗f(wàn)多A后，二三百A的厚度變化已經(jīng)看不出明顯的顏色變化。加工工藝對(duì)色差的影響1.1氧化如果表面有1％以上的變化時(shí)會(huì)看出顏色變化。氧化時(shí)應(yīng)表面一致，顏色一致。1.2CVD表面變化4％以上時(shí)，色差較明顯。APCVD一般達(dá)不到無(wú)色差的要求，PECVD、LPCVD可以做到無(wú)色差。如果色差變化比較均勻時(shí)還可以，色差有突變時(shí)必須改進(jìn)。噴頭一般對(duì)色差沒(méi)有影響，而表面態(tài)的影響比較大，如放射狀色斑、沾污、粉塵

3、等。表面水分含量較高時(shí)，會(huì)對(duì)表面產(chǎn)生影響，氧化層較薄時(shí)，會(huì)產(chǎn)生色差。如圖示：解決：甩干時(shí)控制表面，禁止再落水，甩干后及時(shí)取出。腐蝕后硅片表面疏水，水會(huì)沿劃片槽下流，如未能甩干，會(huì)形成一條白帶，擴(kuò)散后片子就報(bào)廢了，如圖示。解決：等水靜止后取出片架，稍傾斜，慢速；有水跡可沖水或者擦片。片架潮濕也易產(chǎn)生花紋。CVD會(huì)復(fù)制上道工序帶來(lái)的損傷，為了防止復(fù)制，可以在CVD前用HF漂洗。CVD設(shè)備故障也會(huì)造成色差，如果噴嘴噴的過(guò)多，或者噴頭氣流變化，

4、會(huì)造成硅片表面有深淺條花紋。如圖示。1.3腐蝕有些缺陷擴(kuò)散后看不出來(lái)，但腐蝕后就會(huì)發(fā)現(xiàn)色差。如果沒(méi)有腐蝕干凈，或者腐蝕不均勻，出現(xiàn)臺(tái)階變化，也會(huì)產(chǎn)生色差。如圖示如果去膠不干凈，色差太明顯，會(huì)形成花紋，如圖示2.物狀斑塊、白霧如圖示。這類缺陷一般對(duì)硅片影響較大。隔離槽有白霧，如圖示滲磷區(qū)有白霧，如果已生長(zhǎng)在硅片里面，會(huì)發(fā)藍(lán)，發(fā)綠。氧化層表面，硅表面白霧，有一定的高度，透明，一般不易去除，已經(jīng)生成了酸性化合物，可用雙氧水煮去。如圖示有機(jī)沾污