低真空的獲得和檢漏

1、1低真空的獲得和測量低真空的獲得和測量實驗目的:掌握低真空獲得和測量的方法.實驗原理:1)旋片式機械泵（1）結構及原理旋片式機械泵的結構如圖6.1.1所示.它由轉子6定子7旋片4（或稱刮板）活門和油槽等所構成.泵的定子裝在油槽中，定子的空腔是圓柱形.轉子是圓柱形輪子，它偏心地裝成與定子空腔內(nèi)切位置.轉子可繞自己旋轉對稱軸轉動，方向如圖所示.轉子轉動是由馬達帶動的.轉子中鑲有兩塊刮板刮板之間用彈簧相連使刮板緊貼在定子空腔內(nèi)壁上當轉子轉動時

2、，被抽容器中的氣體經(jīng)過進氣口到定子與轉子之間的空間由活門及出氣口排出.定子浸在油中，油是起密封、潤滑與冷卻作用的.進油槽是為了讓油進人空腔，進空腔的油除了上述作用外，還起著協(xié)助打開活門的作用.因為在壓強很低時被壓縮的氣體不足以打開活門而不可壓縮的油將強迫活門被打開.一般油面在活門上一定距離.活門的作用是讓氣體從泵中排出，而不讓大氣進入泵中.活門的結構為一金屬片或金屬球構成.工作原理如圖6.1.2所示.圖中6.1.2(a)表示兩刮板轉動.

3、上刮板A與進氣口之間的體積不斷增大，這時被抽容器內(nèi)氣體從進氣口進入這部分空間.圖（b）、(c)表示進入泵中的氣體被刮板B與被抽容器隔開并被壓縮到活門.當轉子轉動到圖(d)位置時，被壓縮的氣體的壓強大于大氣壓，這時活門被打開，氣體排出泵外.這個過程反復不斷被抽容器內(nèi)的氣體就不斷被抽出泵外.3的變化不大.當壓強快到極限壓強時抽速迅速下降，最后在極限真空度時抽速為零.這是因為壓強很高時由泵返回被抽容器內(nèi)的氣體僅占次要地位，可被忽略.當容器內(nèi)壓

4、強不斷降低時，返回容器內(nèi)的氣體與被排出氣體相比就越來越不可忽略，因此抽速下降.最后，從容器中排出氣體量等于返回容器內(nèi)的氣體量時容器中的氣體就不再減少了，這時泵的抽速就為零.（3）注意事項機械泵工作時由電動機動力維持者抽氣口和排氣口的壓強差，一旦停止工作，排氣口的大氣壓將把真空泵油壓到定子腔中，造成返油事故.因此，機械泵停止工作后必須使抽氣口與大氣相通，使泵的進氣口和排氣口氣壓平橫.2）粗真空、低真空的測量(1)U形管壓強計這是最簡單的絕

5、對壓強計分為開管、閉管兩種.本實驗中采用的是閉管式.測量時，將U形管開口端與待測系統(tǒng)相接U形管兩側的水銀液面高度差值，便是待測的真空度.顯然它是粗真空量具.(2)熱偶真空計的原理是利用在低氣壓下氣體的熱導率與氣體壓強間有依賴關系.其關系如圖6.1.4所示.因此，如果把一段金屬絲封入導管中，接入真空系統(tǒng)并通過一定的電流使絲加熱，則絲的溫度取決于輸入功率與散熱的平衡關系.當輸入功率一定時，絲溫與氣體的熱導率有關.只要用某種方法測出絲溫變化即