切片異常匯總

1、,,,,1.斷線2.線痕3.厚薄片4.隱裂,5.缺角6.崩邊7.彎曲片8.掉棒,9.掉片10·過濾袋堵塞11.如何避免斷線和斷線的解決辦法12·鋼線張力,目錄,斷線,收線輪斷線,放線輪斷線,切割快結(jié)束后斷線,①放線輪斷線：1.最常見的是鋼線質(zhì)量問題造成斷線;2.其次張力異常造成斷線;3.垂直度不垂直造成斷線;4、滑輪質(zhì)量問題造成斷線’滑輪沒有及時更換造成斷線;5、導(dǎo)論驅(qū)動異常造成斷線。其

2、次放線輪壓線斷線分為假壓線和真壓線兩種：在這兩種情況下真壓線的斷線率比假壓線的高。其主要原因是在鋼線本身，還有一種可能是斷線后采用反切方法排線不正確也會產(chǎn)生。,②收線輪斷線： 其一排線的問題。在切割過程中收線輪處的排線輪由于行程有細(xì)微的過大，而切割后的鋼線本身在切割過程中有了比較均勻的磨損；由于排線輪的行程大了一點(diǎn)，線和收線輪的飛邊相摩擦產(chǎn)生一個切向力（廢鋼線也有一定的張力）。被收線輪的飛邊給切斷的。如果在微觀發(fā)方面看

3、的話，是由于排線行程過大的那一剎那 其二收線輪的原因。在排線正常的情況下由于收線輪的飛邊上有金屬毛刺。在收線輪高速旋轉(zhuǎn)的情況下，在飛邊上的毛刺產(chǎn)生切向力很大足以截斷一根0.140和0.120的鋼線。 其三收線輪處的張力臂張力不平穩(wěn)。在一切情況都排除在外時收線輪處的斷線最有可能是由于收線輪處的張力臂張力不平穩(wěn)引起的，忽高忽低的張力給廢鋼線施加了一個變量的力。在金屬力學(xué)中這是一大忌，鋼線就是這樣被疲勞拉斷

4、了。 其四滑輪質(zhì)量問題或滑輪沒有及時更換造成斷線。,③線網(wǎng)斷線： 1.導(dǎo)論沒有處理干凈，在高速切割中鋼線因雜質(zhì)而脫離導(dǎo)輪槽，導(dǎo)致鋼線飛線（跳線），隨著高速運(yùn)轉(zhuǎn)的鋼線，跳線處與晶棒摩擦要比正常切割線網(wǎng)區(qū)域摩擦更嚴(yán)重，隨著切割時間延長，砂漿的切割力也慢慢下降，跳線位置可能會斷線; 2.晶棒兩端斜面過大在切割中切到斜面邊緣處鋼線容易打滑，鋼線脫離線槽，會把端面位置碎片帶進(jìn)線網(wǎng)，造成斷線;

5、 3.晶棒本身有雜質(zhì)硬點(diǎn)，造成斷線;導(dǎo)輪槽磨損，切割中鋼線會錯位，會引起硅片斷裂，硅渣進(jìn)入線網(wǎng)造成斷線; 4. 鋼線質(zhì)量問題，切割中會造成線網(wǎng)斷線; 5.砂漿密度過高，切割力達(dá)不到，造成沒有規(guī)律性的線網(wǎng)斷線; 6.砂漿簾賭賽，砂漿斷流，鋼線和晶棒干磨，造成線網(wǎng)斷線;導(dǎo)輪驅(qū)動異常，可能會引起線網(wǎng)斷線; 7.導(dǎo)向條下面有空隙，切割入刀口時碎導(dǎo)向條會與鋼線的切割方向，把硬物帶進(jìn)

6、線網(wǎng)，造成斷線。,④切割快結(jié)束后斷線： 其一線速也是斷線的一種因素之一，在線速迅速降低也是致命的。這時候鋼線由于慣性還的在向前運(yùn)動，可是導(dǎo)輪已經(jīng)按照降速后運(yùn)轉(zhuǎn)，同時晶棒還是在下降。這時鋼線會在晶體中形成褶皺，在鋼線上產(chǎn)生應(yīng)力點(diǎn)；也就給斷線埋下了隱患。這種斷線對處發(fā)生在將要結(jié)束的時候。 其二晶棒粘接對接處膠抹的太多，快要切完時的線網(wǎng)直接與對接處的膠接觸，膠

7、多過線網(wǎng)會直接將其帶進(jìn)線網(wǎng)導(dǎo)致斷線。,8,,出刀口線痕,表面均勻線痕,硬點(diǎn)線痕,倒角處的線,進(jìn)刀口,厚薄片表面有一條線痕,入刀口線痕,中部線痕,出線位置硅棒的線痕,①表面均勻線痕：砂漿更換量不足，鋼線帶砂量太少，造成沒有足夠的切割能力，嚴(yán)重摩擦導(dǎo)致均勻線痕，冷卻水溫度過高，導(dǎo)致均勻線痕; ②厚薄片表面有一條線痕：切割中有雜質(zhì)進(jìn)入線網(wǎng)，線網(wǎng)瞬間跳線，鋼線脫離線槽，造成切割定位，導(dǎo)致厚薄片，在線網(wǎng)瞬間跳線時，鋼

8、線在交叉時，與晶棒摩擦造成一道線痕;導(dǎo)輪表面磨損，鋼線會擠在一起，砂漿分布不均勻，造成線痕; ③入刀口線痕：切割入刀口時，導(dǎo)向條有空隙，硬物進(jìn)入線網(wǎng)，鋼線跳線瞬間會引起線痕;,④出刀口均勻線痕：砂漿少更換10~20L，切割快結(jié)束后，砂漿的顆?；旧弦呀?jīng)很疲憊了，棱角幾乎已經(jīng)變圓，切割力已經(jīng)到了疲憊狀態(tài)，隨著鋼線不斷的磨損，切割力達(dá)不到，就會造成出刀口線痕; ⑤中部線痕:切割中，砂漿嘴斷流，造成硅片中

9、部線痕; ⑥硬點(diǎn)線痕：硅片來料硬點(diǎn)，切割中小硬點(diǎn)可能不會造成線網(wǎng)斷線，但鋼線切到硬點(diǎn)時，不會與其他位置切割力一樣，難免會在硬點(diǎn)處停留數(shù)秒，這期間會造成一道線痕;,⑦進(jìn)刀口：由于剛開始切割，鋼線處在不穩(wěn)定狀態(tài)，鋼線的波動產(chǎn)生的線痕; ⑧倒角處的線痕：由于在粘結(jié)硅棒時底部殘留有膠，到倒角處鋼線帶膠切割引起的線痕; ⑨出線位置硅棒的線痕：鋼線磨損量大，造成鋼線光潔度、圓度不夠，攜帶砂漿數(shù)量低，

10、切削能力下降，線膨脹系數(shù)增大引起的。,厚薄片,整片超厚,中部以上超厚,厚薄不均,①整片超厚：導(dǎo)向條有空隙，入刀口時，隨著鋼線切割方向，會把碎導(dǎo)向條直接帶入線網(wǎng)，鋼線錯位，切割中鋼線會瞬間定位一直到切割結(jié)束，這樣就出現(xiàn)硅片整體超厚現(xiàn)象;導(dǎo)輪磨損嚴(yán)重，切割中鋼線會互相擁擠，造成厚薄片;,整片超厚,②中部以上超厚：切割室雜質(zhì)掉進(jìn)線網(wǎng)，引起線網(wǎng)跳線，造成厚薄片;導(dǎo)輪質(zhì)量發(fā)生變化，導(dǎo)輪槽磨損，線網(wǎng)跳線，引起厚薄片;,,中部以上超厚,,,③厚

11、薄不均（TTV）:張力異常，造成厚薄不均現(xiàn)象;流量時流時斷，造成切割力不均勻，造成厚薄片。,厚薄不均,隱裂,,,,,,,,,來料隱裂,預(yù)清洗后隱裂,插片隱裂,清洗后隱裂,拉運(yùn)中隱裂,分選過程隱裂,①來料隱裂：多晶硅鑄錠爐生產(chǎn)時，可能加工的硅料成分造成，其次在拉運(yùn)途中，震動或撞擊導(dǎo)致晶體隱裂; ②預(yù)清洗后隱裂：車間流程加工時，崗位在加工和拉運(yùn)時碰撞造成，其次切片崗位在安裝棒時，用力過猛，引起晶托相撞，導(dǎo)致晶棒體內(nèi)產(chǎn)生隱裂

12、，在預(yù)清洗時，因晶棒本來在前道崗位已經(jīng)受撞擊，經(jīng)過預(yù)清洗水壓，隱裂就可以體現(xiàn)出來; ③插片隱裂:插片時，作業(yè)人員的手法都不一致，況且每刀四個位置的厚度都有所差異，手拿片子角上最邊緣，平衡力有誤就會導(dǎo)致隱裂;,④清洗后隱裂:清洗機(jī)烘干槽里風(fēng)過大，風(fēng)向不定，會造成硅片在清洗籃里晃動過大導(dǎo)致隱裂; ⑤拉運(yùn)中隱裂：清洗后，將硅片車?yán)\(yùn)到分選途中，地面不平，車子震動，硅片會產(chǎn)生隱裂; ⑥分選過程

13、隱裂：人工分選時，手法不一致，從片盒倒出時，片子有時會卡到盒中，造成隱裂（碎片）;人工分選可能會擠壓到一些片子，其次還有分選臺桌面上的碎硅渣，倒片時，會造成硅片崩邊，很容易產(chǎn)生隱裂。,19,缺角原因分析,①加工時缺角：晶棒在加工和拉運(yùn)時，人員疏忽，沒有按照作業(yè)指導(dǎo)書規(guī)定操作，造成缺角;設(shè)備異常造成的缺角。 ②切割時缺角:晶棒上導(dǎo)向條沒有粘接到位，切割中，沒有導(dǎo)向條的位置鋼線容易打滑，隨著工作臺下降，線速加快，鋼線和晶棒定位

14、的瞬間，會造成硅片角上缺角。 ③運(yùn)輸中缺角:在切片崗位下棒時，作業(yè)員需要用拉鉤把晶棒拉到下棒軌道里，稍微不注意拉鉤就會碰到片子，造成缺角; ④插片時缺角:插片人員在作業(yè)時，插片的速度過快，硅片的角會撞到插片工作臺上，造成缺角。 ⑤分選時缺角:人工在倒片盒時，因工作臺上有碎硅渣，片子會與碎硅渣產(chǎn)生碰撞力，造成缺角。,崩邊種類,崩邊,①C角崩邊：粘棒在作業(yè)時，由于用較硬的東西取C角膠時，造成C較

15、崩邊; ②膠面崩邊：切片沒有切透，晶棒在預(yù)清洗脫膠后造成膠面崩邊（有時候看上去切透，其實(shí)晶棒中部因線弓還沒有完全切透）;加工時崩邊：設(shè)備在加工時造成崩邊,人員在搬運(yùn)中相撞造成崩邊。,崩邊原因分析,①晶托螺絲沒有擰緊，或者是假擰緊，在切割中，晶棒受鋼線的切割力導(dǎo)致晶托松動，切割結(jié)束后全部是彎曲片; ②切割中導(dǎo)輪定位銷斷裂，或者是導(dǎo)輪密封圈脫落掉，在切割中會突然晃動，導(dǎo)致彎曲片; ③晶體本身

16、內(nèi)有雜質(zhì)或硬點(diǎn)，切割中不至于斷線，鋼線在勻速切割時，遇到雜質(zhì)和硬點(diǎn)會彎曲切過，這樣就會造成少量片彎曲。,彎曲片原因分析,,①膠水配比有問題；②硅棒與玻璃粘接面有油污；③膠水涂抹后固化的時間沒有到可用時間；④膠水的質(zhì)量有問題;⑤在擰螺絲時，擰力過大，造成鋁板變形（凹凸不平），導(dǎo)致掉棒。備注：粘棒室溫度為22℃-28 ℃，濕度為50%以下●配膠比例：A膠樹脂：B膠固化劑=1：1●玻璃板加壓、固化時間：加壓15-25分鐘，固化

17、30分鐘以上（包含加壓時間）●晶棒、玻璃板清洗：超聲清洗，水溫40-50攝氏度，清洗時間10-15,掉棒原因分析,①砂漿的水份偏高造成的團(tuán)結(jié)物。②剛使用時過濾袋堵塞可能是砂漿有異物造成的，如果是切割到3刀以后的堵塞可能是硅片碎雜質(zhì)多引起的。③碳化硅微粉和切削液的PH值區(qū)別太大，起化學(xué)反應(yīng)引起的黏稠物，造成的過濾袋堵塞。④沒有按照規(guī)定時間更換，造成切割中過濾袋堵塞。備注：過濾袋壓力設(shè)定為1200bar,開切范圍在800以下更為合

18、適。,過濾袋堵塞原因分析,掉片,,,,,,,,,切割完后掉片,升棒過程中掉片,升完后掉片,從設(shè)備三點(diǎn)一線拉時掉片,整根棒掉片,預(yù)清洗前掉片,①切割完后掉片：切割深度過深導(dǎo)致掉片，因為作業(yè)員在設(shè)零點(diǎn)時，F(xiàn)位置和M位置的高度有時高度不一致，如果按晶棒最低的一點(diǎn)設(shè)零點(diǎn)，那么切割到-165.5mm時，晶棒低的位置因切割深度過深造成掉片; ②升棒過程中掉片：作業(yè)員升棒速度太快（200mm /MIN），片子被線網(wǎng)強(qiáng)制拉來;

19、 ③升完后掉片：粘棒抹膠不均勻，切割深度一致時，膠薄的區(qū)域會少量掉片;,掉片原因分析,④從設(shè)備三點(diǎn)一線拉時掉片：使用拉鉤拉時，用力過猛，片子擺動幅度過大，太松動造成掉片; ⑤整根棒掉片：其一粘膠面膠抹的太少，其二膠水的質(zhì)量有問題，其三膠水涂抹后固化的時間沒有到可用時間; ⑥預(yù)清洗前掉片：晶棒等待時間太長，片子相比是一個拉力往下拉，時間過長，玻璃板不能承受導(dǎo)致掉片。,備注：粘棒室溫度為22℃-28

20、℃，濕度為50%以下●配膠比例：A膠樹脂：B膠固化劑=1：1●玻璃板加壓、固化時間：加壓15-25分鐘，固化30分鐘以上（包含加壓時間）●晶棒、玻璃板清洗：超聲清洗，水溫40-50攝氏度，清洗時間10-15,①在開機(jī)前檢查時要按照開機(jī)檢查表上的檢查項一一檢查到位，我發(fā)現(xiàn)好多操作工就沒有按照開機(jī)檢查表來檢查，比如張力是否有異常、還有兩邊的排線是否垂直、下過濾網(wǎng)和上過濾網(wǎng)和有砂漿噴嘴是不是每刀都清洗等等，其次在清洗砂漿嘴時有沒有把砂

21、漿噴嘴的兩端拆先來清洗里面的，因為砂漿嘴里面還有一條鐵片，在清洗時光清洗外面的話，可能很難把里面的雜質(zhì)清理掉的，這樣就很可能在切割中導(dǎo)致砂漿斷流供應(yīng)不上斷線。 ②現(xiàn)規(guī)定張力要在-1—2N之間才是正常的，如張力不正常，在切割很容易造成TTV、厚薄片等情況，還可能會斷線。,如何避免斷線和斷線的解決辦法,③晶棒斜面太大也會造成線網(wǎng)斷線，現(xiàn)在不是規(guī)定大于2MM的斜面粘到M2位置，其實(shí)這只是防止斷線的損失，我們還可以把斜面大的放

22、到M2位置，線網(wǎng)可以避開斜面切割，這樣就更加安全了，最起碼不會在收線端斷線，也不會因停機(jī)帶來的損失。 ④砂漿袋的壓力是否正常，因為在切割中如果砂漿袋壓力過高那說明砂漿袋里面堵塞了，或是砂漿管道里沒有處理干凈，這樣的情況會造成在切割中沒有規(guī)律性的斷線，也就是哪個位置都很可能會導(dǎo)致斷線，其次還會造成TTV超厚超薄等現(xiàn)象。,⑤砂漿密度的控制，在切割中密度是很重要的一個環(huán)節(jié)，如切割能力達(dá)不到，那百分之百會斷線，比如片子上有線痕、TTV

23、、厚薄片，都和密度有直接關(guān)系，當(dāng)然這只是一部分，好多異常還有其他原因，那就要觀察片子上線痕、TTV、厚薄片在切割的安裝位置，出刀口還是進(jìn)刀口。 ⑥導(dǎo)輪的使用時間和表面有無勒痕也是很重要的，導(dǎo)輪勒痕會造成斷線，還有線痕、TTV、厚薄片，或許還會有彎區(qū)片等情況。,1.鋼線的張力：鋼線的張力是硅片切割工藝中相當(dāng)核心的要素之一。張力控制不好是產(chǎn)生線痕片、崩邊、甚至斷線的重要原因。 ①鋼線的張力過小，將會導(dǎo)致鋼線彎曲度