微電子與環(huán)境保護論文

1、微電子與清潔生產微電子與清潔生產摘要摘要:文中以芯片生產為例分析微電子行業(yè)的生產過程發(fā)現(xiàn)該行業(yè)資源、能源消耗量大使用的原料和排放廢棄物中有毒有害物質含量較高對社會環(huán)境潛在的壓力很大；提出了在該行業(yè)推行節(jié)約化、清潔化生產的解決措施:企業(yè)生產管理措施法規(guī)手段經濟手段和信息措施；呼吁在我國大力發(fā)展微電子產業(yè)時要吸取發(fā)達國家的經驗教訓實施清潔生產避免對環(huán)境造成嚴重的破壞。關鍵詞關鍵詞:微電子；環(huán)境保護；能耗量；清潔生產；1、微電子行業(yè)所用原料及

2、生成污染物種類分析、微電子行業(yè)所用原料及生成污染物種類分析1.1.1、微電子行業(yè)所用原料、微電子行業(yè)所用原料調查發(fā)現(xiàn)微電子企業(yè)使用的主要原料中含有大量的氟化物、溴化氫及氰化物等劇毒物質還有重金屬各種酸洗試劑、有機試劑、以及特種試劑有毒和易燃易爆的特種氣體。硅谷調查結果顯示該行業(yè)工人癌癥發(fā)病率、嬰兒先天缺陷比例遠高于平均水平。另外若管理不善造成這些有毒有害物質的泄漏則會帶來嚴重的環(huán)境問題和安全問題如震驚世界的博帕爾事件。表1微電子生產原料

3、一覽表原料種類含有毒有害成分液態(tài)1.清洗試劑:酸洗試劑(H2SO4、HCl、HF、HNO3、H3PO4)、堿洗試劑(H2O2、氨水)。2.特種試劑:異丙醇、丙酮、乙醇、緩沖液、去光阻液、負光阻液、氧化層研磨液、顯影液、光刻膠、三氯氧磷硝酸、氟化物。氣態(tài)1.特種氣體:BCl3、Cl2、HBr、HCl、SiH2Cl2、一氧化二氮、磷烷、硼烷、砷烷、硅烷氯氣、H2、CO、CF4、SiCCl2、CH3F、CH2Cl2、SiC、O2、CHF3、S

4、iF4、甲烷Ar、氨氣。2.普通氣體:潔凈壓縮空氣、高純氧氣、高純氮氣、高純氫氣、高純氬氣。固態(tài)晶體硅各種金屬如銅、銀、鉻、鉛、汞等。1.1.2、微電子行業(yè)產生的污染物、微電子行業(yè)產生的污染物表2列出了對國內幾家微電子行業(yè)產生污染物種類?？梢钥闯鲈撔袠I(yè)排出的廢水的腐蝕性和毒性都很強不經嚴格處理會嚴重污染自然水體和排放渠道。廢氣中含有大量氟化物、酸堿廢氣、VOC、及一些劇毒氣體物質調查發(fā)現(xiàn)長期呼吸這種廢氣使癌癥發(fā)病率、流產和嬰兒先天缺陷比

5、例增大很多公司也因此被起訴。固體廢物的污泥中含多種重金屬高濃度廢液中含大量有機污染物。填埋這些廢物會使有毒物滲漏到地下水中而焚燒則會產生包括二噁英等的氣體有毒物。新的調查結果顯示電子回收工人的血液中危險化學物質含量很高。因此人類在享受高科技帶來的文明的同時也越來越深刻地認識到它危害人類健康、污染人類賴以生存環(huán)境的一面。時生產商必須承擔保證清潔生產減少資源消耗排除使用有毒有害原料和生產有毒有害產品的責任對設計無法避免的環(huán)境破壞問題生產者要

6、承擔法律的、物質的或經濟責任?，F(xiàn)對該行業(yè)的清潔生產實施提如下建議:3.3.1、企業(yè)實施清潔生產的措施、企業(yè)實施清潔生產的措施實施廢物總量控制；規(guī)范設計利用無毒原料和采用無毒工藝；開發(fā)閉合物質循環(huán)系統(tǒng)；開發(fā)更耐用的產品原料種類標準化；開發(fā)可回收、循環(huán)再利用的產品；增加回收、循環(huán)利用和修復工作加強對原料的管理防止發(fā)生泄漏、溢出、事故污染和不希望的揮發(fā)。3.3.2、實施清潔生產的保障措施、實施清潔生產的保障措施企業(yè)若在設計生產階段認真考慮上述

7、問題就可以改善資源利用和污染物排放的性質和數量。但要調動起企業(yè)的積極性必須采用必要的法律手段經濟手段和信息導向措施推進和保證清潔生產在該行業(yè)順利實施。參考國外經驗以下措施值得借鑒:（1）法規(guī)限制:強制回收規(guī)定；回收物含量最低標準規(guī)定；原料二次利用率規(guī)定；制定能源利用率標準禁止和限制某些處置途徑；禁止和限制使用某些原料。（2）經濟手段:征收原料稅；減去對某些原料的津貼；市場只準入環(huán)境效應好的產品。（3）信息手段:推出環(huán)境清潔標志；嚴格把關

8、環(huán)境標志的批準；公開產品整個使用周期的環(huán)境效應信息產品有害警告。通過以上措施加強對該行業(yè)生產過程的研究和檢測系統(tǒng)建立企業(yè)環(huán)境指標以及加強利益相關者對話通過政策法規(guī)將環(huán)境效應附加到生產中根據排污收費標準將廢物管理成本從政府和公眾轉移到生產者身上再加上市場經濟手段和消費者信息導向就會促使生產者改進工藝盡可能地將有毒物排除于生產過程之外使廢物最小化減少有毒物質的傳播最佳可持續(xù)的重復利用資源和能源達到清潔生產的目的。3.33.3、微電子環(huán)保最新

9、信息、微電子環(huán)保最新信息第二十二屆中國國際電子生產設備暨微電子工業(yè)展與2012年4月25日在上海世博展覽館拉開序幕。在全球電子信息制造業(yè)日漸增長的前提下，低碳、節(jié)能、環(huán)保、綠色制造將成為此次展會的“關鍵詞”進入21世紀以來，中國電子信息產品制造業(yè)加快了發(fā)展的步伐，每年以20%以上的速度高速增長，成為我國經濟的支柱產業(yè)，全球產業(yè)大國地位不斷凸顯。隨著中國電子制造業(yè)的高速發(fā)展，中國的SMT技術及產業(yè)也同步迅猛發(fā)展，整體規(guī)模居世界前列。中國的

10、電子信息產品制造業(yè)之所以出現(xiàn)大好形勢，主要是中國政府有關部門高度重視電子信息產品制造業(yè)的發(fā)展，制訂了良好的發(fā)展政策、引進政策。世界電子信息產品制造業(yè)發(fā)達的國家和地區(qū)如美、日、韓、歐洲和我國的臺灣地區(qū)，把電子制造業(yè)往中國內地轉移也是迅速發(fā)展的重要因素。今后幾年內，中國仍是世界最大的SMT市場。3.3.13.3.1、20112011年是我國電子信息產業(yè)調整轉型的重要一年年是我國電子信息產業(yè)調整轉型的重要一年。2011年，規(guī)模以上電子信息制造