藍(lán)寶石襯底上增透膜

1、1.增透膜藍(lán)寶石襯底上增透膜氧化硅(SiO2)膜具有熔點(diǎn)高、抗磨耐腐蝕、保護(hù)能力強(qiáng)、對(duì)光的散射吸收小等優(yōu)良性能使得SiO2非常適合用作提高藍(lán)寶石高溫強(qiáng)度及增透保護(hù)薄膜。利用射頻磁控反應(yīng)濺射法制備出所設(shè)計(jì)的增透膜系。結(jié)果表明藍(lán)寶石襯底上鍍單層及多層增透膜系后紅外透過率明顯提高當(dāng)藍(lán)寶石襯底雙面鍍SiO2膜后在3~5um波段范圍內(nèi)平均透過率達(dá)到96.43%比未鍍膜時(shí)的平均透過率87.01%提高了9.42%滿足了設(shè)計(jì)使用要求。2.高反膜制備出高

2、性能的193nm激光高反膜具有重要的應(yīng)用價(jià)值。在對(duì)不同材料組合高反膜性能分析比較的基礎(chǔ)上對(duì)應(yīng)用于高反膜膜材料組合進(jìn)4.光無源器件薄膜光無源器件包括光纖連接器、光衰減器、光耦合器、光波分復(fù)用器、光隔離器、光開關(guān)、光調(diào)制器等它是光纖通信設(shè)備的重要組成部分由于其工作原理遵循光線理論和電磁波理論故薄膜器件部分的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和工作原理與薄膜技術(shù)息息相關(guān)。例如大容量光纖通信要求光纖連接器插入損耗在0.1～0.5dB之間平均值為0.3dB隨著新技術(shù)、新工

3、藝的應(yīng)用可望降低到0.1dB大大提高回波損耗。如果采用鍍膜工藝在光纖連接器球面上鍍?cè)鐾改と鏢iO2、Ta2O5、MgF2、ZnO2、Al2O3、CeO2等使回波損耗提高到70dB以上。同時(shí)在插針的端面采用光集成工藝鍍上半透膜、減反膜和偏振膜可以組成不同功能的多用插頭。此外波分復(fù)用器(WDM)在寬帶高速光通信系統(tǒng)、接入網(wǎng)、全光網(wǎng)絡(luò)等領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用前景。其中干涉膜型波分復(fù)用器采用的是由多層介質(zhì)膜鍍制成的截止濾波片或帶通濾波片如1310

4、1550nm的波分復(fù)用器用的是長(zhǎng)波通和帶通濾波膜采用的膜料大多是SiO2和TiO2。當(dāng)多層介質(zhì)膜為超窄帶濾波膜時(shí)即可構(gòu)成密集型波分復(fù)用器(DWDM)復(fù)用間隔可小至1nm。這種濾波片是在多腔微離子體條件下制備的高穩(wěn)定帶通濾波片其波長(zhǎng)隨溫度變化小于0.004nm℃。5.軟X射線多層膜制備軟X射線多層膜最常用的有三種方法:電子束蒸發(fā)、離子束濺射以及磁控濺射。用DC和RF磁控濺射法制備出了波長(zhǎng)小于10nm波段的MoB4C軟X射線多層膜反射鏡。掠