藍(lán)寶石襯底上Si-,3-N-,4-膜系的制備工藝與性能研究.pdf_第1頁(yè)
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1、在3~5μm的中波紅外波段,藍(lán)寶石因其高耐久性和可用性使其成為紅外窗口的優(yōu)選材料.但是,在溫度升高時(shí)藍(lán)寶石的強(qiáng)度急劇下降,紅外透過(guò)率也滿(mǎn)足不了設(shè)計(jì)使用要求.因此,在藍(lán)寶石表面鍍制增透保護(hù)涂層就成為滿(mǎn)足其在高速、高溫下應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù).氮化硅(Si3N4)薄膜具有優(yōu)異的光電、機(jī)械性能,并且與藍(lán)寶石附著良好,非常適合用作提高藍(lán)寶石高溫強(qiáng)度的涂層.在國(guó)外,Si3N4薄膜用作藍(lán)寶石的增透保護(hù)涂層的研究已經(jīng)展開(kāi),并取得進(jìn)展;而在國(guó)內(nèi),這方面的研究還

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