隧道陀螺測試電路設(shè)計

1、隧道陀螺測試電路設(shè)計摘要微機械陀螺儀和傳統(tǒng)陀螺儀相比具有體積小、重量輕、成本低、可靠性高等優(yōu)點，在眾多領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。但隨著微機械陀螺儀外表尺寸的縮小，傳統(tǒng)的電容檢測技術(shù)大大影響了器件的檢測靈敏度和分辨率，所以針對這些問題提出了新型隧道式微機械陀螺的設(shè)計方案。本文針對微機械隧道陀螺儀的測試電路進行設(shè)計，主要包括驅(qū)動和檢測兩個部分：1驅(qū)動電路：設(shè)計了微機械隧道陀螺儀的開環(huán)驅(qū)動電路。驅(qū)動電路是維持陀螺的可動質(zhì)量塊沿驅(qū)動方向以一定的頻

2、率作恒幅簡諧振動，通過實驗分析證明該方法可以驅(qū)動陀螺。2檢測電路：設(shè)計了微機械隧道陀螺儀的檢測電路。檢測部分是檢測隧道陀螺產(chǎn)生的隧道電流，并對信號進行處理，得到需要測量的輸入角速度信號。關(guān)鍵詞：微機械陀螺儀，驅(qū)動，檢測，隧道電流第I頁共II頁目錄1緒論..................................................................11.1微機械陀螺研究背景...............

3、................................11.1.1本課題的研究背景............................................21.1.2國外微陀螺的研究現(xiàn)狀........................................21.1.3國內(nèi)微陀螺的研究現(xiàn)狀........................................71.2微機械陀螺電路的研究現(xiàn)狀..

4、.......................................101.3微機械隧道檢測的研究目的及意義...................................121.4論文內(nèi)容安排.....................................................132微陀螺基礎(chǔ)知識....................................................

5、....142.1微陀螺工作原理...................................................142.1.1Ciolis效應(yīng).................................................142.1.2微陀螺工作原理..............................................162.2微機械陀螺的驅(qū)動和檢測電路...........

6、............................172.2.1靜電梳齒驅(qū)動................................................172.2.2隧道微陀螺結(jié)構(gòu)輸出檢測......................................183隧道微機械陀螺的電路設(shè)計..............................................223.1隧道陀螺開環(huán)驅(qū)動電

7、路設(shè)計.........................................223.1.1波形發(fā)生器..................................................233.1.2緩沖器......................................................233.1.3反相器........................................

8、..............243.1.4信號疊加電路................................................253.2隧道陀螺閉環(huán)驅(qū)動電路設(shè)計.........................................263.2.1隧道陀螺閉環(huán)驅(qū)動電路原理....................................273.2.2鎖相環(huán)電路設(shè)計..................