tft-lcd制程簡介-auo

1、TFT-LCD製程簡介,液晶顯示器(LCD)之用途,,光電廠,,,,,,,一廠,二廠,投片,清洗,薄膜,黃光,蝕刻,測試,清洗,配向,框膠,熱壓,切裂,注入,磨洗貼,FPC,COG,組裝,燒機(jī),F/I,投片,清洗,薄膜,黃光,蝕刻,測試,清洗,配向,框膠,熱壓,切裂,注入磨洗貼,FPC,COG,組裝,燒機(jī),F/I,工廠概況,甚麼是TFT-LCD ?,TFT----薄膜電晶體 Thin Film Transi

2、stor,LCD----液晶顯示器 Liquid Crystal Display,TFT-LCD剖面圖,,,,,,SOURCE源 極,,,,,,,,,,,,,,,,,,DRAIN汲 極,,ITO畫素電極,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,液晶分子CRYSTAL,,,CF彩色濾光膜,B.L背光,一個電晶體(顯示單位) 動作示意圖,液晶作動原理,偏光板作用及液晶旋光性介紹,一

3、個電晶體顯示電路示意圖,,Data driver,Scan driver,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,

4、,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,

5、,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,認(rèn)識Array,製程簡述,Array:電晶體 矩形陣列,Cell:顯示單元體,Module:產(chǎn)品模組,,鍍膜(sputter,cvd),,光罩(reticle),,,,蝕刻(etch),去光阻液 stripper,,TFT循環(huán)製程圖解,,鍍下一層膜,,,酸A或

6、氣體A,,,,TFT循環(huán)製程圖解1,,,,顯影 液,,,,TFT循環(huán)製程圖解2,去光阻液A,,,,,顯影 液,,酸B或氣體B,,TFT循環(huán)製程圖解3,去光阻液B,,鍍第三層膜,請依之前所示範(fàn)的方法舉一反三,自行模擬想像,FABⅠARRAY之六步驟,,,,FAB II ARRAY之五步驟,TI/AL/TI,S-I-N,TI/AL/TI,PASSIVATION,1.鍍上 鈦鋁鈦 合金(GATE),2.S : SiNx

7、 (氮矽化合物,絕緣層) I : α-Si (非結(jié)晶矽,通道層) N : N+(歐姆接觸),3.鍍上鈦鋁鈦合金(source,drain),4.鍍上,5.鍍上ITO(銦錫氧化物,透明畫素電極) (ITO是透明又會導(dǎo)電的物質(zhì)),SiNx 保護(hù)層及做VIA層,ITO,1.GE層,2.AS層,3.SD層,4.BP層,5.TI層,五層合一,FAB II五道光罩的圖型,玻璃基板,,,,,,,,,,,,A1,A2,GE (Ti/Al/

8、Ti),,AS (SiNx),,AS (?-Si),,AS (N+),,SD (Ti/Al/Ti),,,BP (SiNx),,TI (ITO),,Gate (GE),SIN (AS),Source/Drain (SD),Passivation (BP),ITO (TI),,電晶體剖面圖,玻璃基板,B1,B2,GE (Ti/Al/Ti),AS (SiNx),SD (Ti/Al/Ti),BP (SiNx),TI (ITO),Gate (GE

9、),SIN (AS),Source/Drain (SD),Passivation (BP),ITO (TI),,,,,,,,補(bǔ)償電容剖面圖,ARRAY製程簡圖,610 mm,甚麼是畫素(PIXEL)?,一個可以顯示出所有顏色的單位稱作: 畫素---PIXEL,一個畫素含有三分割---紅,綠,藍(lán)(R,G,B)每一個分割叫做子畫素(SUB-PIXEL),畫素,,子畫素,基礎(chǔ)色彩學(xué)介紹,白 = 紅 + 綠

10、+ 藍(lán) 紫 = 紅 + 藍(lán) 黃 = 紅 + 綠 青 = 綠 + 藍(lán),乘法系統(tǒng)(過濾法-顏料),黑 = 黃 * 青 * 深紅紅 = 黃 * 深紅綠 = 黃 * 青藍(lán) = 深紅 * 青,,,,,,,,,,,,=,*,*,,,,,,黑,深紅,青,黃,,Color Filter彩色濾光片簡述,早期的AV產(chǎn)品,亮度最高適用於OA產(chǎn)品,最新的AV產(chǎn)品,R,G,B,R,G,B,R,G,B,R,G,B,R,G,B,

11、R,G,B,R,G,B,R,G,B,R,馬賽克(對角形),R,,,,,,G,,,,,,,,,,,R,,,,,,G,,,,,,條形,R,G,B,R,G,B,R,G,B,R,R,G,B,R,G,R,G,B,R,G,B,R,G,B,R,戴爾它(三角形),B,PI共製程,CF & TFT,,PI Coating,Polyimide配向膜塗覆,,PI Rubbing 配向,PI共製程,CF & TFT,配 向 絨 布,,PI膜配向

12、:基板和 roller成45度角,TFT和CF基板方向差 90 度. Roller高速旋轉(zhuǎn)時,絨毛上的纖維會甩立起來,將PI膜刷出紋路 Rubbing的情況,類似於重鋪柏油馬路之前的刨路機(jī),將路面刨出紋路.,框膠及點銀膠,框膠,Ag Paste,Color filter,點銀膠是為了導(dǎo)通CF的共地極(COMMON極),PI膜,灑間隙粒子,SPACER SPRAYSPACER 灑佈,Spacer,ARRAY玻璃,P

13、I膜,SPACER是小塑膠球又稱為“間隙粒子”,CF & TFT共製程,Attachment,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,CF基板,大片組合,TFT基板,黏合玻璃的UV膠,,,,紫外線膠照射紫外線後就會產(chǎn)生黏合力,將兩片玻璃黏合,,CF & TFT共製程,Hot Press,氣囊熱壓,,,,大片組合之基板,熱壓機(jī)hot pressor,115~200度C 4小時,一次可壓18~20片壓完後,C

14、F和TFT板之間的距離變成約4.85μm二廠使用真空熱壓法,,,,,,,,,壓力表,,CF & TFT共製程,Scribing& Breaking,切割&裂片,,一片玻璃可以切成幾片面板?,,,,,,320mm,,,,,1.8“,2.5”,4“,6.1”~6.8“,第1代面板:長400mm,寬320mm,400mm,面板範(fàn)圍,,,,,,,,,裁餘部份,拋棄不用,一片玻璃可以切成幾片面板?,720mm,,,

15、,,,,,,,,,610mm,,,,,,,,,,13.3“~14.1”,,,,15“~17”,,19“,,22“~32”,面板範(fàn)圍,裁餘部份,拋棄不用,第3.5代面板:長720mm,寬610mm,,,,,,,,,,,,,,,,,液晶注入示意圖,利用大氣壓力 及毛細(xì)現(xiàn)象 將液晶灌入 cell內(nèi),,,,,,,,UV膠(紫外線膠),,照射紫外線,面板封口,Color filter,Array chip,磨 邊

16、(Beveling),磨邊(去掉短路棒 shorting bar),短路棒,,,,貼偏光片 (Polarizer),Polarizer Attachment,偏光片貼附,上下偏光片濾光角度差90度,異方性導(dǎo)電膜之簡述,IC貼附,,,ACF貼附,,COG黏著(COG Bonding),包括:Chips & FPC,驅(qū)動IC黏著後用矽膠(白膠)封住,TFT,CF,,驅(qū)動IC,ACF,偏光片,組裝Assembly,燒機(jī)(BURN