3rrr并聯(lián)微動工作臺精度保證技術(shù)研究

1、合肥工業(yè)大學碩士學位論文3-RRR并聯(lián)微動工作臺精度保證技術(shù)研究姓名：張毅申請學位級別：碩士專業(yè)：測試計量技術(shù)及儀器指導教師：胡鵬浩20090301R e s e a r c h o n e n s u r i n g t h ea c c u r a c y o f3 - R R R P a r a l l e lM i c r o - M o t i o n S t a g eA b s t r a c tI nr e c e n

2、ty e a r s ，b e c a u s eo fa n u m b e ro f a d v a n t a g e si np l a n a r3 - R R R p a r a l l e lm i c r o - m o t i o ns t a g e ，s u c ha s s t i f f n e s s ，l o a d - b e a r i n gc a p a c i t y ，l o we r r o

3、ra n dh i g hp r e c i s i o n , i ti si n c r e a s i n gt h er e s e a r c h ．I n t h i sp a p e r ，a3 - R R R p a r a l l e lm i c r o —m o t i o ns t a g e w i l lb er e s e a r c h e d o ni t s k i n e m a t i c s ，

4、t h e s y s t e me r r o ra n a l y s i sa n dc o n t r o ls t r a t e g yw h e n i t st h e o r e t i c a l a n a l y s i s ，t h em a n u f a c t u r eo f s t a g e a sw e l la ss t r u c t u r a lo p t i m i z a t i o

5、n h a v e b e e n r e s e a r c h e d ．I nt h i st h e s i s ，i n v e r s ea n d d i r e c tp o s i t i o na n a l y s i so f t h e3 - R R R m i c r o - m o t i o ns t a g e i s d e r i v e d b a s e d o nt h e p s e u d

6、 o - r i g i d —b o a y m o d e l ( P R B M ) ．A s al i n e a r ，e f f e c t i v ek i n e m a t i c sm o d e l ，c o n s t a n t - J a c o b im e t h o d sa r ep r e s e n t e d ．T h es t i f f n e s so ft h eb o d y i su

7、 n d e r w o o d t h r o u g h t h e s t a t i ca n a l y s i s ．D y n a m i c sa n a l y s i so f i n s t i t u t i o n sa r er e a d y f o r t h ef o l l o w - u pe x e r c i s ec o n t r o l a n d r e a d y t od oo p

8、t i m i z a t i o n ．T h e e r r o rm o d e lo f m i c r o —m o t i o ns t a g e i s d i s c u s s e d l a t e r ，a n dt h ei m p a c t o f t h em i c r o —s t a g eo n s t r u c t u r ee r r o r si sa n a l y z e ，a ne

9、v a l u a t i o n i sg i v e n a b o u t t h ei m p a c t o ft h e e r r o r s ．T h eu s eo fP Z Tc e r a m i c h y s t e r e s i s ，c r e e pc h a r a c t e r i s t i c s o fr e s e a r c hr e s u l t s i m p r o v e t

10、h ed r i v i n g a c c u r a c y ．A r e a s o n a b l ee x p e r i m e n t a ls y s t e mc o n t r o ls t r a t e g yi s p u tf o r w a r da n d s e t u pf i n a l l y ．S i m u l a t i o no f k i n e m a t i c sa n d c o

11、 n t r o le x p e r i m e n t so f m i c r o —m o t i o n g a g e a r em a d e b y u s i n g m a t l a b ，S O t h e m i c r o —m o t i o ns t a g eC a n b ec o n t r o l l e de a s i l y ．K e y w o r d s ：P a r a l l e l