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1、本文結(jié)合一種平面3-RRR.并聯(lián)微動(dòng)工作臺(tái)的研制,對(duì)其運(yùn)動(dòng)學(xué)、機(jī)構(gòu)優(yōu)化和精度問題進(jìn)行了全面的研究.微動(dòng)臺(tái)采用免裝配、無(wú)間隙和無(wú)摩擦的柔性鉸鏈代替實(shí)際的轉(zhuǎn)動(dòng)副并且依靠壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng),實(shí)現(xiàn)了工作臺(tái)x向和y向的微米級(jí)位移以及在x-y平面內(nèi)的微小轉(zhuǎn)動(dòng). 提出了并聯(lián)微動(dòng)臺(tái)偽剛體模型位姿反解、正解的方法,并進(jìn)一步推導(dǎo)了微動(dòng)條件下的線性運(yùn)動(dòng)學(xué)模型:常量雅各比矩陣法和鉸鏈位移法,通過不同方法的比較得到了近似模型的理論精度.另外討論了機(jī)構(gòu)的各
2、向同性指標(biāo)以及利用Matlab軟件對(duì)理論工作空間進(jìn)行了仿真. 隨后對(duì)微動(dòng)工作臺(tái)的靜力學(xué)、動(dòng)力學(xué)和柔性鉸鏈進(jìn)行了分析,得到了相應(yīng)的計(jì)算公式.之后詳細(xì)討論了壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的各項(xiàng)性能指標(biāo),針對(duì)遲滯性采用了Preisach模型法消除,并通過實(shí)驗(yàn)對(duì)驅(qū)動(dòng)器各項(xiàng)性能進(jìn)行了測(cè)定.隨后基于并聯(lián)微動(dòng)臺(tái)各項(xiàng)性能指標(biāo)對(duì)機(jī)構(gòu)的參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化,得到了符合要求的結(jié)果. 提出并建立了合理的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),通過實(shí)驗(yàn)對(duì)雅各比矩陣進(jìn)行了標(biāo)定,并且為之后的誤差分析積
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