BCN薄膜的制備和表征.pdf

1、B-C-N相的特殊性質引起了人們濃厚的興趣，以高純B4C(99.99％)靶所制備BCN薄膜由于具有優(yōu)異的力學性質和耐磨性，可望在某些領域替代類金剛石膜(DLC)。BCN薄膜的制備方法很多，如化學氣相沉積及物理氣相沉積等。 本論文采用了雙離子束濺射沉積技術在Si(100)、NaCl和石英基片上在不同的工作參數(shù)下成功的制備了BCN薄膜，研究了工作參數(shù)對BCN薄膜結構及性質的影響。在實驗中，用Ar和高純N2分別作為主源和輔源濺射氣體，

2、用高純B4C(99.99％)靶制備BCN薄膜。 采用了X射線衍射(XRD)、X射線能譜(EDS)、傅立葉變換紅外光譜(FTIR)、拉曼光譜(Raman)、透射電子顯微鏡(TEM)、顯微硬度測試儀、原子力顯微鏡(AFM)，紫外-可見光光度計和納米壓痕等分析手段和方法對薄膜的結構和性質進行了表征。 結果如下： 一、薄膜的結構是通過XRD和TEM進行分析的，其測試結果表明薄膜是非晶體。 二、FTIR和Raman