波片相位測量原理與技術(shù)的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文介紹了波片相位測量技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀,研究并采用了適用于波片相位精確測量的新方法,建立了集光、機、電、算于一體的自動化測量系統(tǒng),與過去研究工作的不同點在于:測量時無需知道被測波片的光軸方位,放入波片即可進行測量;系統(tǒng)使用了標準波片進行相位補償,尤其是采用步進電機帶動檢偏器轉(zhuǎn)動實現(xiàn)相移,運用圓光柵編碼器精確測量檢偏器的旋轉(zhuǎn)角度,隨檢偏器旋轉(zhuǎn)變化的出射光強信號由光電探測器接收,經(jīng)放大、濾波處理后,和角度值信號一起通過串口輸入計算機,根據(jù)四步

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