正負方波調幅電源及靜電探針數(shù)據(jù)采集分析系統(tǒng)研究.pdf

1、等離子體是物質存在的一種基本形態(tài)，被視為是除了固體、液體和氣體之外，廣泛存在于宇宙和人類的生活中的第四種物質形態(tài)，其在能源、化學、材料科學、空間物理、環(huán)境科學等領域得到廣泛的應用。在種種研究等離子體性能的實驗手段之中，靜電探針診斷技術的作用尤為重要。例如通過對材料加工過程中的等離子體進行探針診斷，可以通過得到的數(shù)據(jù)和圖形，分析并獲得等離子體變量和宏觀參數(shù)之間的關聯(lián)，從而對材料加工過程中等離子體中如何進行物理、化學反應，以及等離子體與材料

2、如何相互作用有更深的理解，在此基礎之上進一步建立材料結構、性能的整體框架，獲得材料性能改變的微觀機制，從而控制等離子體的加工過程。
　　作為等離子體參數(shù)診斷的必備工具之一，雖然朗繆爾探針測量理論在1924年已經(jīng)被提出，并在日后的發(fā)展中不斷進步，但是實際測量的誤差一直比較粗燥，致使探針測量數(shù)據(jù)只具有數(shù)量級參考意義。
　　針對現(xiàn)有診斷儀器存在的不足，本文設計了一款基于USB總線的高性能、高精度、等離子體電壓-電流于一體的正負方波