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文檔簡介
1、中國科學技術大學碩士學位論文靜電探針測試系統(tǒng)的研制姓名:王胡艦申請學位級別:碩士專業(yè):物理電子學指導教師:吳瑞生20050501本論文的主要創(chuàng)新之處包括:1采用接口芯片PCI9052設計PCI總線數據采集卡PCI9052是一款常用的PCI總線目標接口芯片,其最大特色是帶有一個ISA接幾,可以實現(xiàn)ISA總線到PCI總線的平滑過渡,這為目前仍存在的fSA總線插件移植到PCI總線上提供了極大的方便,因而能夠有效降低接口設計的難度,縮短開發(fā)周期
2、。2采用PA42設計等離子體診斷探針掃描電源PA42是美國APEX公司推出的一種高電壓單片場效應管大功率運算放大器,使用該器件可在提高可靠性的同時取得以前需在混合設計中才能達到的性能,滿足了靜電探針測試系統(tǒng)掃描電壓變化范圍寬,電源功耗大等要求。同時,本論文解決7PA42實際應用中的一些關鍵技術問題。3采用雙電源和光電隔離電路采用雙電源(其中探針掃描電源采用浮地)和光電隔離電路,解決了直流輝光放電等離子體裝置和靜電探針測試系統(tǒng)共地時“雙探
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