靜電探針測(cè)試系統(tǒng)的研制.pdf

1、中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)碩士學(xué)位論文靜電探針測(cè)試系統(tǒng)的研制姓名：王胡艦申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：物理電子學(xué)指導(dǎo)教師：吳瑞生20050501本論文的主要?jiǎng)?chuàng)新之處包括：1采用接口芯片PCI9052設(shè)計(jì)PCI總線數(shù)據(jù)采集卡PCI9052是一款常用的PCI總線目標(biāo)接口芯片，其最大特色是帶有一個(gè)ISA接幾，可以實(shí)現(xiàn)ISA總線到PCI總線的平滑過渡，這為目前仍存在的fSA總線插件移植到PCI總線上提供了極大的方便，因而能夠有效降低接口設(shè)計(jì)的難度，縮短開發(fā)周期

2、。2采用PA42設(shè)計(jì)等離子體診斷探針掃描電源PA42是美國(guó)APEX公司推出的一種高電壓?jiǎn)纹瑘?chǎng)效應(yīng)管大功率運(yùn)算放大器，使用該器件可在提高可靠性的同時(shí)取得以前需在混合設(shè)計(jì)中才能達(dá)到的性能，滿足了靜電探針測(cè)試系統(tǒng)掃描電壓變化范圍寬，電源功耗大等要求。同時(shí)，本論文解決7PA42實(shí)際應(yīng)用中的一些關(guān)鍵技術(shù)問題。3采用雙電源和光電隔離電路采用雙電源(其中探針掃描電源采用浮地)和光電隔離電路，解決了直流輝光放電等離子體裝置和靜電探針測(cè)試系統(tǒng)共地時(shí)“雙探