靜電探針自動(dòng)測(cè)量?jī)x的研制.pdf

1、目前等離子體在半導(dǎo)體加工、材料改性、低溫殺毒以及污染治理等諸多領(lǐng)域的應(yīng)用研究蓬勃發(fā)展，等離子體中的電子密度、電子溫度、懸浮電位等特性參數(shù)與應(yīng)用對(duì)象有著直接密切的關(guān)系，因此對(duì)等離子體特性參數(shù)進(jìn)行診斷，不僅對(duì)等離子體的基礎(chǔ)研究，而且對(duì)等離子體的應(yīng)用研究都是十分必要的。 靜電探針是一種最為基本和可靠的等離子體特性參數(shù)診斷工具，具有廣泛的應(yīng)用價(jià)值。國(guó)內(nèi)在該領(lǐng)域基本采用手動(dòng)測(cè)量的方式，測(cè)量速度慢、效率低、精度不高。本文采用ARM微處理器，

2、針對(duì)靜電探針測(cè)量系統(tǒng)的實(shí)時(shí)、可靠和通用的性能要求，設(shè)計(jì)并研制出了一種靜電探針自動(dòng)測(cè)量?jī)x，該測(cè)量?jī)x在實(shí)際中得到了應(yīng)用，使用效果達(dá)到了預(yù)期目標(biāo)的要求。 測(cè)量?jī)x主要由一塊控制板和一塊測(cè)量板組成。控制板采用基于ARM9內(nèi)核的AT91RM9200，提供以太網(wǎng)、USB接口、串行接口和CAN總線接口。測(cè)量板主要實(shí)現(xiàn)掃描電壓輸出，電流信號(hào)采集以及機(jī)械掃描等功能?？刂瓢逡环矫婵梢酝ㄟ^(guò)以太網(wǎng)接口、USB接口、串行接口或者CAN總線接口接收從終端設(shè)備