外延片在線曲率測量儀的研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、由于現(xiàn)有商用在線曲率測量儀在硅方格圖形襯底外延中無法使用,為了能獲得Si圖形襯底GaN外延生長過程中的應(yīng)力變化信息,本文設(shè)計(jì)制造了一種在線曲率測量儀,并首次得到了硅方格圖形襯底外延生長過程中外延片的曲率變化信息。
　　 本文首先說明了商用在線曲率測量儀在Si方格圖形襯底中所遇到的問題,并介紹了本文所設(shè)計(jì)的在線曲率測量儀的測量原理和系統(tǒng)整體架構(gòu),以此為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)開發(fā)了測量儀的硬件和軟件。接著本文詳細(xì)介紹了硬件各個(gè)功能模塊(包括光路部

2、分、機(jī)械傳動(dòng)部分和電子電路部分)的設(shè)計(jì)方案和元器件性能,詳細(xì)說明了以VisualBasic為平臺,在線曲率測量儀軟件部分的開發(fā),著重介紹了步進(jìn)電機(jī)控制部分和數(shù)據(jù)擬合運(yùn)算部分的程序設(shè)計(jì)思路。最后本文介紹了在線曲率測量儀在外延實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)中的實(shí)際應(yīng)用。系統(tǒng)測量分辨率達(dá)到了2Km-1,不亞于同類商用儀器的測量精度。
　　 從調(diào)試和測試結(jié)果來看,本在線曲率測量儀成功裝配應(yīng)用于ThomasSwanCCSMOCVD,可以提供Si圖形襯底外延生

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