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1、 本文用苯作工作氣體，在一個(gè)微波電子回旋共振(ECR)放電等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)中制備了含氫非晶碳膜(a-C:H)。對(duì)苯等離子體作了質(zhì)譜分析，發(fā)現(xiàn)苯分解后形成的主要基團(tuán)是C2H4等，而不是常規(guī)甲烷放電的CH3，這將影響膜的結(jié)構(gòu)。實(shí)驗(yàn)中還考察了沉積參數(shù)，如功率、氣壓、流量、基片溫度對(duì)膜的沉積速率的影響。它指出：沉積速率隨微波功率、氣壓和流量的增加而上升；隨溫度的升高先升后降，存在極值。對(duì)制備的膜作了氫含量、IR、Raman譜等測(cè)試，結(jié)
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