金屬Zr薄膜的等離子體氫化特性研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文提出了一種等離子氫化的物理方法,采用離子束分析方法研究Zr金屬薄膜在氫等離子體作用下的氫化特性.通過比較分子吸氫和等離子吸氫,發(fā)現由于高流的氫原子和離子作用于表面和氫原子在表面層和晶格中的擴散幾率遠高于氫原子在表面的再結合逸出幾率的結果,氫等離子體作用下的金屬氫化速率遠高于分子氫化.在室溫和～2Pa氫壓的DC放電條件下,10分鐘內樣品的氫化濃度可達飽和值66.67﹪,遠大于該壓強下的氣體氫化濃度.在結合現有的分子吸氫的動力學方程的基

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