水銀微電容式加速度計的特性及測試研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著MEMS技術(shù)和集成電路的高速發(fā)展，微慣性傳感器的開發(fā)與應用得到了極大地促進。目前在各個領(lǐng)域，微慣性傳感器正呈現(xiàn)出商業(yè)化、產(chǎn)業(yè)化的應用前景。微慣性傳感器具有集成化、微型化、低成本、低功耗、穩(wěn)定性高等諸多優(yōu)點。但是，目前國內(nèi)外研制出來的微慣性傳感器彈性結(jié)構(gòu)大都采用固態(tài)結(jié)構(gòu)，存在著高靈敏度與抗高過載之間的矛盾，這在很大程度上限制了抗高過載加速度計的應用。鑒于此，本文提出了一種水銀微電容加速度傳感器。并以美國Micro Sensor公司生產(chǎn)

2、的一款微小電容的測量芯片MS3110作為主要研究對象，通過它測量運動物體的加速度，進而運用一定的算法(卡爾曼濾波算法)濾除噪聲并估計出加速度準確的值。其主要內(nèi)容有：
　　1.對MS3110的工作原理、一般特性進行詳細地論述，對MS3110的應用電路設(shè)計及校準進行探討，并詳細地闡述了本課題的實驗系統(tǒng)，對MS3110的靜態(tài)特性和動態(tài)特性進行分析和研究；
　　2介紹了水銀微電容式加速度計的電路檢測和數(shù)據(jù)采集方案，對加速度傳感器進行

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