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文檔簡介
1、超光滑表面拋光技術(shù)是晶體材料獲得納米級粗糙度表面的主要手段,而影響拋光精度的主要因素是微射流拋光液的溫度、壓力、流速。本系統(tǒng)在保證晶體材料拋光質(zhì)量可靠性的前提下,開發(fā)了基于 PLC控制的具有人機交互界面的微射流懸浮噴液供給系統(tǒng)。研究內(nèi)容包括系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計、硬件電路設(shè)計、PLC軟件程序設(shè)計,設(shè)計了一種對拋光液恒溫、恒壓、恒流供給的儀器。新研制微射流供給系統(tǒng)作用于五軸加工中心,實現(xiàn)了晶體材料高效率、超光滑表面加工。
本文作者根據(jù)微
2、射流懸浮噴液供給系統(tǒng)的設(shè)計要求,主要針對以下幾個方面進行了研究:
1.溫度控制方面:溫度是影響拋光液性能穩(wěn)定的關(guān)鍵因素,為了保證拋光液活性的極大值,系統(tǒng)工作過程中我們需要對溫度維持恒定。本系統(tǒng)溫控模塊采用超調(diào)制冷熱補償方法對系統(tǒng)進行溫度精密調(diào)節(jié),克服了系統(tǒng)慣量大致使系統(tǒng)延時較長,溫度波動較大的缺點,實現(xiàn)了溫度精密調(diào)節(jié),取得了良好閉環(huán)控制效果,溫度控制范圍為15℃~35℃,精度優(yōu)于0.1℃。
2.拋光液供給系統(tǒng)液壓控制
3、方面:理論研究表明,液流空化過程中產(chǎn)生的空泡在破裂過程中,瞬間產(chǎn)生高溫、高壓有利于水體進行自然水解和鍵合反應(yīng)的進行。而壓力的大小影響著液流空化過程。本系統(tǒng)基于 PLC中心控制,通過對壓力傳感器、流量傳感器的信息采集,反饋控制各類控制閥,實現(xiàn)了壓力在0~3bar連續(xù)可調(diào)的恒壓供給。
3.流量控制方面:本文通過實驗,對流量、壓力傳感器的信號進行采集。實驗表明,在0~3bar的壓力范圍內(nèi),流量和壓力成線性關(guān)系,這也說明我們可以通過壓
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